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오세빈(S. B. Oh),김은구(E. K. Kim),김진영(J. Y. Kim) 한국진공학회(ASCT) 1993 Applied Science and Convergence Technology Vol.2 No.4
Glass와 실리콘 웨이퍼(p-type(100), p=6~8 Ω-cm)를 기판으로 하여 NiFe/glass, NiFe/Si, NiFe/Al/Si, NiFe/Ti/Si의 박막을 제작하였다. 하지층으로 사용한 알루미늄과 티타늄은 RF 스퍼터링으로 증착하였으며 퍼멀로이 (NiFe) 필름은 60, 80, 90 wt% Ni로 조성을 변화시켜 증착하였다. 박막의 포화자화(M_s), 보자력 (H_c), 각형비 (F)는 sweep time을 1.7분으로 하여 시료 토크마그네토 메터로 측정하였다. 보자력에 영향을 주는 표면조도는 전자주사현미경(SEM) 과 표면조도 측정기로써 알아보았다. 실험결과 80 wt% Ni의 퍼멀로이에서 자장 중 열처리(35 Oe, 350℃) 후 약 1의 각형비를 나타내었으며 열처리 후 보자력이 떨어짐을 보였다. 자기이방성은 알루미늄을 하지층으로 한 퍼멀로이 박막에서 가장 좋은 값(K_u=-9.60×10^6 emu/㎤)을 나타내었다. A study on the magnetic properties of NiFe/glass, NiFe/Si, NiFe/Al/Si and NiFe/Ti/Si thin films has been performed. Aluminum and Titanum underlayers were deposited by using rf sputtering system, and permalloy (NiFe) films of 60, 80 and 90 wt% Ni were deposited by an ebeam evaporation system. The saturation magnetization (M_s), coercive force (H_c). and squareness ratio (F) of permalloy thin films were characterized by a vibrating sample magnetometer (VSM) and the values of anisotropy constant (K_u) were evaluated by utilizing a torque magnetometer. The surface roughness was also observed by using a scanning electron microscope (SEM) and a roughness tester. It was found that 80 wt% Ni permalloy films had the squareness ratio of 1 and their coercive forces were decreased after annealing at 350℃ under a magnetic field of 35 Oe. The magnetic anisotropies of 80 wt% Ni permalloy films with Al underlayer showed the most proper value of K_u=-9.60×10^6 emu/㎤ after magnetic annealing at 350℃ and 35 Oe.
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