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간섭무늬 분석을 통한 게이지 블록의 거칠기 효과 보정용 광산란장치 교정
강주식(C.-S. Kang),김재완(J.W. Kim),조미정(M.J. Cho),공홍진(H.J. Kong) 한국정밀공학회 2006 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2006 No.5월
A roughness measuring system which comprises an integrating sphere and a stabilized laser has been fabricated with the aim of measuring the roughness correction value which is necessary in gauge block measurement by optical interferometry. To calibrate the system, a Newton’s ring interferometer has been introduced. The method how to calibrate the roughness measurement system has been described.