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        Random Forest Model for Silicon-to-SPICE Gap and FinFET Design Attribute Identification

        Hyosig Won,Katsuhiro Shimazu 대한전자공학회 2016 IEIE Transactions on Smart Processing & Computing Vol.5 No.5

        We propose a novel application of random forest, a machine learning–based general classification algorithm, to analyze the influence of design attributes on the silicon-to-SPICE (S2S) gap. To improve modeling accuracy, we introduce magnification of learning data as well as randomization for the counting of design attributes to be used for each tree in the forest. From the automatically generated decision trees, we can extract the so-called importance and impact indices, which identify the most significant design attributes determining the S2S gap. We apply the proposed method to actual silicon data, and observe that the identified design attributes show a clear trend in the S2S gap. We finally unveil 10nm key fin-shaped field effect transistor (FinFET) structures that result in a large S2S gap using the measurement data from 10nm test vehicles specialized for model-hardware correlation.

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