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Analysis of phototransistors fabricated based on IGZO semiconducting films
Gergely Tarsoly(터르쇼 게르게이),Jae-Yun Lee(이재윤),TUKHTAEV ANVAR,ZHAO HANLIN,ISAMADDINOV SHUKHRAT,BERDIEV JONIBEK ELMURODOVICH,WANG XAIOLIN,Choi Byung Geun(최병근),Yong-Hwan Kim(김용환),Sung-Jin Kim(김성진) 한국통신학회 2022 한국통신학회 학술대회논문집 Vol.2022 No.11
저진공 산소 플라즈마를 이용한 투명 인공지능 메모리 개발
이재윤(Jae-Yun Lee),TUKHTAEV ANVAR,ZHAO HANLIN,ISAMADDINOV SHUKHRAT,BERDIEV JONIBEK ELMURODOVICH,WANG XAIOLIN,SHAN FEI,최병근(Choi Byung Geun),김용환(Yong-Hwan Kim),김성진(Sung-Jin Kim) 한국통신학회 2022 한국통신학회 학술대회논문집 Vol.2022 No.2
본 논문에서는 고성능/고용량 투명 인공지능 메모리 칩 개발을 위해 TiO₂/TiO2-x 박막 구조를 기반으로 한 저항 변화형 메모리를 제작하였으며, TiO2-x 활성층 박막에 저진공 산소 플라즈마 처리를 하여 인가하는 RF power에 따른 저항 변화형 메모리 디바이스의 전기적, 표면적 성능 분석하였다. 인가하는 RF power의 세기가 클수록 hysteresis area가 크게 나타났으며, TiO2-x 박막 표면의 RMS 값이 감소하는 결과를 보였다.