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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : Bijian Shirinzadeh (검색결과 1 건)
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        Development of a Novel 3-DOF Suspension Mechanism for Multi-Function Stylus Profiling Systems

        Jia Tian,Yanling Tian,Zhiyong Guo,Fujun Wang,Dawei Zhang,Xianping Liu,Bijian Shirinzadeh 한국정밀공학회 2016 International Journal of Precision Engineering and Vol.17 No.11

        This paper proposes a novel 3-DOF suspension mechanism for multi-function stylus profiling systems. Incorporating an electromagnetic force actuator, the 3-DOF suspension mechanism provides a controlled loading force. For reasons of the thermal and mechanical stability, a triangular flexure structure is utilized to support the stylus. The stiffness matrix method is used to establish the analytical stiffness model of the 3-DOF suspension mechanism. Considering the 3-DOF suspension mechanism as a 3-DOF lumped-mass-spring system, the dynamic model is established. Finite element analysis (FEA) is used to validate the established static and dynamic models of the 3-DOF suspension mechanism. A prototype is fabricated and experimental tests are carried out to characterize the mechanism’s performance. The results show that the 3-DOF suspension mechanism provides a controlled force in a range of up to 10 mN and has a working range in excess of 10 μm with a first natural frequency of 342 Hz in Z axis, indicating good capability for multi-function measurements at the micro/nano scale.

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