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원거리 플라즈마 화학기상증착법을 사용하여 증착한 비정질 탄화규소 막의 증착조건에 따른 특성 및 증착 균일도 변화
조성혁,최유열,최두진,Cho, Sung-Hyuk,Choi, Yoo-Youl,Choi, Doo-Jin 한국세라믹학회 2010 한국세라믹학회지 Vol.47 No.3
a-SiC has been thought as an ideal candidate for conventional silicon at many applications. However, the uniformity problem of deposition has been a obstacle for conventional use of a-SiC:H films. a-SiC:H films were deposited on (100) silicon wafer by RPECVD system in various temperature. HMDS and $H_2$ gas were used as a precursor and a carrier gas, respectively. The flow rate of HMDS source and $C_2H_2$ dilution gas was fixed in order to study the carbon effect on the film stoichiometric and bonding properties. The plasma power varied from 200 to 400W. We used three types of source delivery line to control the uniformity and film properties of deposited film. We showed that the change of source delivery line has effect on the film uniformity of deposited film and this change of line did not affect on film properties. Also, the change of deposition conditions has effect on the film uniformity.
유상욱 ( Sang-wook Yoo ),이청호 ( Cheong-ho Lee ),정진오 ( Jin-oh Jung ),조성혁 ( Sung-hyuk Cho ),한솔 ( Sol Han ) 한국정보처리학회 2021 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.28 No.2
소프트웨어의 중요성이 커지면서 코딩열풍이 불고 있다. 코딩열풍은 소프트웨어 교육 의무화로 이어졌다. 본 연구는 소프트웨어 교육 개선방안으로 VR 블록코딩을 제안하였다. 본 연구에서 제안한 VR 블록코딩은 최단경로 찾기 모델을 기반으로 교육과정에 따른 컴퓨팅 모델을 설계하여 구현하였다. 컴퓨팅 모델은 입력과 출력, 변수와 연산, 제어구조, 함수생성 및 호출이다. 본 연구에서 제안한 VR 블록코딩이 가능해짐에 따라 초현실사회에 새로운 디지털 교육 콘텐츠에 기여할 것이다.