http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
고집적 반도체 미세회로의 세정을 위한 Nano Spray 조건 최적화
임평호(Pyoung-Ho Lim),손근(Keun-Sohn),이상호(Sang-Ho Lee),장준호(Joon-Ho Jang),김형준(Hyung-Joon Kim) 대한기계학회 2011 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2011 No.10
It was investigated that nano size particles on 20nm scale pattern wafer were efficiently removed by using jet spray cleaning. In this study, deionized water and SC1 were sprayed on pattern wafer surfaces and nitrogen gas was used as carrier gas. The particle removal efficiency was evaluated by the spray height, a number of scanning, acceleration times of nozzle at wafer edge area and a kind of chemistry such as deionized water and SC1. Only deionized water was able to remove particles without surface damages but the superior particle removal was performed at sequential spray of deionized and SC1. At higher nozzle position than 45nm, slow movement on wafer edge area and at least 7 times scanning were required to get high particle removal efficiency.
회전익기 결빙 감항 인증을 위한 수평안정판 착빙 모사 얼음 형상 선정 사례 연구
최영호,김용진,유병두,김직수,임평호 한국항공우주학회 2014 한국항공우주학회 학술발표회 논문집 Vol.2014 No.11
최근 국내에서는 여러 회전익기 개발 및 도입 사업이 추진되고 있다. 해외 선진 업체에서는 전천후 항공기를 목표로 하여 결빙 감항 인증을 획득하는 것이 추세이다. 향후 국내의 회전익기 사업에서도 결빙 감항 인증 획득이 요구될 것으로 예상되며, 이에 따라 회전익기 결빙 감항성 확인 및 입증 업무 또한 요구될 것으로 생각된다. 결빙 감항 인증 획득을 위해서는 해석, 결빙 풍동 시험, 건조공기 비행시험, 인공결빙 비행시험, 자연결빙 비행시험 등과 같이 광범위하고 종합적인 입증 활동이 요구된다. 본 연구는 결빙 감항 입증 활동의 한 부분인 착빙 모사 얼음 형상 부착 건조공기 비행시험의 준비 단계를 다루었다. 본 연구에서는 수평안정판에 착빙 모사 얼음 형상을 부착하여 건조공기 비행시험을 수행한 회전익기 사례를 문헌 조사하였으며, 사례를 분석하여 임계 얼음 형상 획득을 위한 해석 조건 범위 안을 제시하고, 건조공기 비행시험에 사용할 임계 얼음 형상의 선정 과정을 기술하였다. The development or procurement program of various rotorcraft has been started or prepared in Korea recently. Foreign manufactures of rotorcraft have designed and developed new rotorcraft which has ability to flight in icing conditions. It is expected that the program of rotorcraft will request for new rotorcraft to have icing certification in Korea. The case of dry air flight test with simulated ice shapes on a horizontal stabilizer is found in literature and reviewed at this study. The condition range draft for critical ice shape calculation is presented and the selection step of critical ice shapes is described at this study.