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증착조건 및 열처리조건에 따른 ZrO₂ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
유정호(J. H. Yoo),남석우(S. W. Nam),고대홍(D. H. Ko),오상호(S. H. Oh),박찬경(C G. Park) 한국진공학회(ASCT) 2000 Applied Science and Convergence Technology Vol.9 No.4
p형 Si (100) 기판 위에 reactive DC magnetron sputtering으로 증착한 ZrO₂ 박막에 대하여 증착조건과 열처리 조건에 따른 미세구조의 변화및 전기적 특성 변화를 관찰하였다. 증착 및 열처리 온도가 증가하고 power가 증가할수록 ZrO₂의 굴절율은 증가되어 이상적인 2.0~2.2에 근접하였다. 상온에서 증착된 ZrO₂ 박막은 비정질이며 300℃에서 증착한 경우 ZrO₂ 박막은 다결정이었다. 산소 분위기에서 열처리를 수행한 박막의 RMS 값은 증착직후보다 높아지고 계면 산화막은 산소의 확산에 의해 두께가 증가하였다. Al/ZrO₂/p-type Si (100)의 C-V과 I-V 특성을 관찰하였고, 그 결과 산소분위기에서 열처리하는 경우 계면 산화막의 두께증가로 Cmax 및 누설전류가 감소함을 알 수 있었다. We investgated the microstructures and the electrical properties of ZrO₂ thin films deposited by reactive DC magnetron sputtering on (100) Si with different deposition conditions and annealing treatments. The refractive index of the ZrO₂ thin films increased with annealing temperatures and deposition powers, and approached to the ideal value of 2.0~2.2. The ZrO₂ thin films deposited at the room temperature are amorphous, and the films are polycrystalline at the deposition temperature of 300℃. Both the thickness of the interfacial oxide layer and the root-mean-square (RMS) value of surface roughness increased upon annealing in the oxygen ambient. The Cmax value and leakage current value decreased with the increase of thickness of the interfacial oxide thickness.
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[論文] CI 機關에 있어서 세라믹 필터트랩에 關한 硏究
한영출(Y.C.Han),유정호(J.H.Yoo) 한국자동차공학회 1988 오토저널 Vol.10 No.5
This study is a theoretical analysis and experimental effect of oxygen concentration, exhaust velocity and trap inlet temperature on particulate ignition temperature with installation of ceramic filter trap in diesel engine. So the following results are obtained.<br/> 1. Based on the fundamental experiments of the regeneration process, the analytical model was developed and the results from the analytical model agreed with the experiments, then the validity of the model was prooved.<br/> 2. The ignition temperature for accumulated particulate was proportional to the exhaust velocity and it was known that the optimum exhaust velocity was about 15m/sec.<br/> 3. The ignition temperature for accumulated particulate was inversely proportional to the oxygen concentration and the trap inlet temperature, and a minimum oxygen concentration of 5% was required to sustain regeneration.<br/> 4. This experimental filter trap(EX-66) is found about 30% of smoke reduction efficiency in comparison with existing muffler.
DBpia
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