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      저자 : 김정윤(Jeoung Youn Kim) (검색결과 1 건)
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      • 컴퓨터 시각장치를 이용한 반도체 IC의 자동검사 시스템

        김정윤(Jeoung Youn Kim),성영락(Yeong Rak Seong),오하령(Ha Ryoung Oh) 한국정보과학회 1999 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.26 No.1B

        본 연구에서는 컴퓨터 시각 기법을 이용하여 반도체 IC의 결함을 검사하는 TAB-IC 자동검사 장치를 개발 하였다. 아직까지 TAB-IC의 검사는 그 중요도에 비해 제조현장과정에서 수동으로 결함을 판정하고 있는 실정이다. TAB-IC를 주요 부위별로 4개의 단계로 분류하고, 각 단계마다 적절한 조명과 카메라를 설치하여 인식을 수행하였으며, 인식에는 thresholding된 이미지를 이용하여, 이치화(binarization)정보를 사용하거나, 256계조도의 이미지를 각 검사부위별로 적합한 알고리즘을 이용하여 검사하였다. 알고리즘에는 직선성 검사, 경계선 검출, 패턴 매칭, Hough변환, boundary following등의 알고리즘을 사용하여, 1개의 IC가 4개의 단계를 이동하며 40여개의 검사부위를 처리하는데 걸리는 시간은 4초미만이었다. 100개의 IC를 대상으로 40여개의 불량항목을 반복 검사 실험한 결과, 큰불량과 중불량은 98%의 재연성을 나타내어, 효과적으로 검사함을 알 수 있었다. 반면 미세한 불량과 IC상의 재질에 많은 패턴이 존재하거나, 카메라에 의해 잘 잡히지 않는 불량의 경우 검출이 어려웠으며, 이를 해결하기위해서는 적절한 조명과 고해상도의 카메라 및 알고리즘의 연구가 필요하다.

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