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SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전기적 특성에 미치는 영향
배영호(Young-Ho Bae),정욱진(Woo-Jin Chung),금광일(Kwang-Il Kim),권영규(Young-Kyu Kwon),금범만(Bum Man Kim),조찬변(Chan-Sub Cho),이종현(Jong-Hyun Lee) 한국진공학회(ASCT) 1992 Applied Science and Convergence Technology Vol.1 No.1
2×10^(18)ions/㎠의 산소이온이 180keV로 주입된 실리콘웨어퍼를 1250℃에서 6시간 동안 질소분위기로 열처리하여 SIMOX SOI 구조를 제조하였다. 이온주업 후 열처리 과정에서 산소원자의 거동을 AES와 TEM으로 분석하였고, SRP법으로 시료의 전기적 특성을 조사였다. 그 결과 고온의 열처리 후에 SOI층 내에 산소석출물이 존재하고 있음을 관찰할 수 있었으며 이들은 SOI층의 전기적 특성에 심각한 영향을 미침을 알았다. 그리고 열처리과정에서 SOI층 내 산소농도의 감소는 이들 석출물의 성장소멸기구에 지배됨을 알았다. SIMOX SOI structures were formed by oxygen ion implantation with a dose of 2×10^(18) ions/㎠ at 180 keV and post-implantation annealing at 1250℃ for 6 hours in nitrogen ambient. The oxygen redistribution process during post-implantation annealing was examined by AES and TEM. The electrical property of the structure was investigated by SRP method. We could find oxygen precipitates in SOI layer after high temperature annealing. The influence of the precipitates to the electrical property of the SOI layer was discussed. And the limiting factor to the decrease of the precipitates during post-implantation annealing was discussed also.
김호경 ( Ho Kyung Kim ),김원기 ( Won Ki Kim ),김주한 ( Joo Han Kim ),이정우 ( Jeong Woo Lee ),정욱진 ( Wook Jin Chung ),권오상 ( Oh Sang Kwon ),김주현 ( Ju Hyun Kim ) 대한내과학회 2021 대한내과학회지 Vol.96 No.3
간폐증후군은 폐내 혈관 확장으로 발생하는 간경변의 합병증 중의 하나로 동맥혈 산소 포화도 저하를 유발한다. 호흡곤란이 환자가 호소하는 가장 흔한 증상이며 입위 시 악화소견을 보인다. 신체 검사에서 곤봉지와 청색증이 발견되기도 하며 유일하게 간이식이 현재까지는 가장 효과적인 치료법으로 알려져 있다. 본 증례에서는 호흡곤란을 호소하는 간경변 환자에서 곤봉지를 동반한 간폐증후군을 경험하였기에 문헌고찰과 함께 보고하는 바이다. Hepatopulmonary syndrome is a rare lung complication of liver cirrhosis, caused by pulmonary microvascular vasodilation that induces abnormal arterial oxygenation. Typical findings on physical examination are finger clubbing and cyanosis. Dyspnea is a common symptom and is worse in the upright position. Contrast echocardiography is a useful diagnostic test. Currently, the only effective treatment is liver transplantation. We report the case of a woman with cirrhosis who has hepatopulmonary syndrome with finger clubbing, confirmed by contrast echocardiography. The patient is waiting for a liver transplant. (Korean J Med 2021;96:236-240)