http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
스핀 코팅 공정의 전산 유체 역학 시뮬레이션 및 실증적 모델링
김승준(Sungjun Kim),박진홍(Jin-Hong Park),허근(Keun Heo) 대한전기학회 2021 대한전기학회 워크샵 Vol.2021 No.4
본 연구는 스핀 코팅 공정 중 발생하는 줄무늬 패턴 현상의 원인과 이를 제어할 수 있는 주요 인자들에 관한 연구이다. 줄무늬 패턴을 유발시키는 원인이 포토 레지스트의 국부적 두께 차이라는 점을 확인하였으며, 이를 개선하기 위한 파라미터들을 도출하기 위해 PR에 작용하는 힘들 간의 관계식을 세우고 주요 인자들을 도출하였다. 전산 유체 역학 시뮬레이션을 이용하여 웨이퍼 위치에 따른 두께 변화 현상에 대한을 연구를 수행했다. 그 결과 코팅 막질의 두께에 영향을 주는 가장 주요한 제어 인자는 점도라는 사실을 확인하였으며, 낮은 점도 조건에서 줄무늬 패턴이 현격히 개선되는 것을 확인하였다.