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Cl<sub>2</sub>/Ar 혼합가스를 이용한 VO<sub>2</sub> 박막의 유도결합 플라즈마 식각
정희성,김성일,권광호,Jung, Hee-Sung,Kim, Sung-Ihl,Kwon, Kwang-Ho 한국전기전자재료학회 2008 전기전자재료학회논문지 Vol.21 No.8
In this work, the etch characteristics of $VO_2$ thin films were investigated using inductively coupled plasma (ICP) of $Cl_2/Ar$ gas mixtures. To analyze the plasma characteristics, a quadrupole mass spectrometer (QMS), an optical emission spectroscopy (OES), and a Langmuir probe measuring system were used. The surface reaction of the $VO_2$ thin films was investigated using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). It was found that an increase in Ar fraction in the $Cl_2/Ar$ plasma at fixed gas pressure, input power, and bias power resulted in increasing $VO_2$ etch rate which reached a maximum value of 87.6 nm/min at 70-75 % Ar. It was confirmed that the etch rate of the $VO_2$ films was mainly controlled by the ion flux. On the basis of measuring results, we will discuss possible etching mechanism of $VO_2$ film in the $Cl_2/Ar$ plasma.
이물질에 대한 ECT Bobbin Probe 검출 감도
정희성(Hee-Sung Jung),권영호(Young-Ho Kweon),이동하(Dong-Ha Lee),신욱조(Wook-Jo Shin),임찬기(Chan-Ki Yim) 한국비파괴검사학회 2016 한국비파괴검사학회지 Vol.36 No.4
증기발생기 2차측(관판 상단 및 관 지지판)에 잔류하는 이물질은 전열관에 마모를 야기하여 누설을 발생시킬 가능성이 있으며, 마모는 전열관 재료의 부식 특성과는 별개로 이물질의 재료, 형태, 크기 등에 따라 큰 영향을 받는다. 관판 상단 및 관 지지판 부위의 이물질 여부는 원격육안검사(FOSAR) 방법과 와전류탐상검사(ECT)를 통해 확인하고 있다. 증기발생기 2차측의 잔류 이물질은 그 재질이나 전열관과의 접촉상태 등에 따라 검출하는데 제한성이 나타난다. 따라서, 본 연구에서는 다양한 형태와 재료의 이물질을 관판 상단에서 수직 및 수평한 방향으로 이동시켰을 때, 이물질에 대한 보빈신호의 검출 감도를 측정하기 위해 데이터를 수집하고 분석하였다. Residual foreign objects at the secondary side (top of the tubesheet and tube support plates) of a steam generator are likely to cause a leak by causing wear in the tube. The extent of wear is significantly affected by the material, shape, and size of the foreign object, and the corrosion properties of the tube. The presence of foreign objects at the top of the tubesheet and tube support plates has been identified using remote visual inspection methods such as the foreign object search and retrieval and eddy current test (ECT). The detection of the residual foreign object at the secondary side of a steam generator has limitations that depend on the material properties and the condition of contact with the tube. In this study, which is vertical and horizontal from the upper tubesheet, the corresponding bobbin ECT signals were collected and analyzed to measure its ability to detect foreign objects.
노이즈 측정을 위한 DQV PROGRAM의 데이터 처리 방법에 대한 고찰
정희성(Hee-Sung Jung),장지은(Ji-Eun Jang),장관섭(Kwan-Seob Jang),권민우(Min-Woo Kwon) 한국비파괴검사학회 2021 한국비파괴검사학회 춘계학술대회 초록집 Vol.2021 No.6
미국전력연구소(EPRI, Electric Power Research Institute)에서 개발된 증기발생기 전열관 건전성 평가를 위한 NDE 성능지수를 포함하는 검사기술사양서(ETSS, Examination Technique Specification Sheet) 프로토콜 및 절차서 중 성능지수에 영향을 주는 노이즈에 대한 와전류 신호를 측정하고 모니터링하는 방법은 실제로 현장에 적용되고 있다. 원자력발전소 열화평가에 사용되는 각 결함검출확률(POD, Probability of Detection)은 해당 발전소의 노이즈를 반영해야 하며, 해당 발전소의 증기발생기 와전류 데이터의 노이즈가 ETSS 개발에 사용된 데이터 세트의 노이즈를 초과한 경우에는 ETSS의 POD에 영향을 준다. 즉, 특정 노이즈가 관심부위(ROI, Regions of Interest)에 있다면, 지시는 노이즈에 의해 제거되거나 검출이 되지 않아 의도치 않게 운전 중에 방치될 수 있다. 현재 ETSS의 POD에 영향을 미치는 노이즈 측정이 현안으로 대두 중이지만, 국내에는 측정한 노이즈 값을 처리하는 소프트웨어는 없는 상태이다. 본 연구에서는 RStudio Program을 사용하여 BNPP 증기발생기 전열관에 대한 와전류 데이터 중 1,000개의 전열관을 무작위로 선정하여 ZETEC사의 DQV_ENS Program으로 얻은 와전류 데이터의 품질정보로부터 노이즈 값을 추출하고, 통계처리방법을 강구하여 ROI별 노이즈 누적분포 계산 및 시각화 하였다. 또한, 증기발생기 통합 관리 프로그램(SGMP, Steam Generator Management Program)에 이용 가능한 형태로 데이터를 정리를 하는 방법에 대해 고찰하였다. Among the ETSS protocols and procedures that include the NDE system performance indices for integrity assessment of steam generator tubes developed by EPRI, the method of measuring and monitoring eddy current signal noise that could affect the performance indices is actually applied in the site. Each POD used in plant degradation assessments should reflect plant noise. If the noise of the steam generator eddy current data of the plant exceeds the noise of the dataset used for ETSS development, it affects the POD of ETSS. If significant noise is present in the ROI, degradation could be masked by noise and left in service unintentionally. Currently, noise measurement that affects POD of ETSS is on the rise, but there is no software that manage the measured noise value within the country. In this study, Using RStudio Program, 1,000 tubes were randomly selected from eddy current data of BNPP, noise values were extracted from the quality information of the eddy current data obtained by DQV_ENS Program of ZETEC, and a statistical processing method was devised to calculate and visualize the noise cumulative distribution for each ROI. Also, a method of organizing data in a form usable for SGMP was considered.