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RF sputter를 이용한 실리카 증착 고 내구성 반사 방지막 제조
전성권,정은욱,나종주,권정대,Jeon, Seong-Gwon,Jeong, Eun-Uk,Rha, Jong-Joo,Kwon, Jung-Dae 한국표면공학회 2019 한국표면공학회지 Vol.52 No.2
We fabricated durable anti-reflective(AR) layer with silica globular coating on polymer by two steps. Firstly, nano-protrusions of polymer were formed by plasma etching known as R.I.E(reactive ion etching) process. Secondly, silica globular coating was deposited on polymer nano-protrusions for mechanically protective and optically enhancing AR layers by RF magnetron sputter. And then durable antireflective polymers were synthesized adjusting plasma power and time, working pressures of RIE and RF sputtering processes. Consequently, we acquired the average transmission (94.10%) in the visible spectral range 400-800 nm and the durability of AR layer was verified to sustain its transmission until 5,000 numbers by rubber test at a load of 500 gf.
박상희 ( Sang-hee Park ),전성권 ( Sungkwon Jeon ),이정현 ( Jung-hyun Lee ) 한국공업화학회 2018 공업화학전망 Vol.21 No.6
해수담수화용 분리막은 물과 용질(이온)의 투과도와 선택도를 결정하는 선택층과 기계적 안정성을 부여하는 다공성 지지층으로 구성된 박막 복합체(thin film composite) 형태의 구조를 가진다. 지난 50년 동안 분리막 제조 및 개질 기술들이 발전하면서 분리 성능과 내구성이 꾸준히 향상되어 왔지만, 여전히 해결해야 할 기술적 이슈들이 남아있다. 본 원고에서는 해수담수화용 분리막의 최신 제조 기술을 소개하고, 내오염성, 내염소성 및 붕소 제거와 관련된 분리막 소재의 핵심적인 문제를 해결할 수 있는 기술들을 살펴보고자 한다. 이런 고찰을 통해서 분리막 기반의 해수담수화 공정에서 에너지 효율을 향상시키고, 공정 유지 비용을 절감할 수 있는 기술의 방향을 제시하고 한다.