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산화갈륨 희생층을 이용한 AlGaN/GaN-on-Si HFET의 특성 개선 연구
이재길(Jae-Gil Lee),차호영(Ho-Young Cha) 대한전자공학회 2014 전자공학회논문지 Vol.51 No.2
본 논문에서는 AlGaN/GaN HFET의 누설전류 특성을 개선하고자 산화갈륨 희생층 공정을 이용한 새로운 패시베이션 공정을 제안하였다. 오믹 전극 형성시 고온 열처리 과정으로 인해 갈륨의 표면 손상이 불가피하다. 표면 손상을 방지하기 위해 보편적으로 선표면처리 공정을 사용하기도 하지만 이러한 방법만으로는 표면 손상을 완전히 없애기 어렵다. 본 연구에서 새롭게 제안된 산화갈륨 희생층을 이용한 공정 방법은 고온 열처리 후 손상된 표면에 O2 플라즈마 처리를 통해 산화갈륨층을 형성한 뒤, 염화수소를 이용하여 산화갈륨층을 식각한다. 우수한 상태의 표면 상태를 얻을 수 있었으며, 누설전류의 확연한 감소로 subthreshold slope이 개선되었을 뿐만 아니라 최대 드레인 전류 특성도 594 mA/mm에서 634 mA/mm로 증가하였다. 질화갈륨 희생층 공정의 효과를 분석하기 위해 X-선 광전자 분광법을 이용하여 질화갈륨의 표면 변화에 대해 살펴보았다. We have developed a novel passivation process employing a sacrificial gallium oxide process in order to recover the surface damage in AlGaN/GaN HFETs. Even with a conventional prepassivation process, surface damage during high temperature ohmic annealing cannot be avoided completely. Therefore, it is necessary to recover the damaged surface to avoid the characteristic degradation. In this work, a sacrificial gallium oxide process has been proposed in which the damaged surface after ohmic annealing was oxidized by oxygen plasma treatment and thereafter etched back using HCl. As a result, the leakage current was dramatically reduced and thus the subthreshold slope was significantly improved. In addition, the maximum drain current level was increased from 594 to 634 mA/mm. To verify the effects, the surface conditions were carefully investigated using X-ray photoelectron spectroscopy.
이재길,Lee, Jae-Gil 한국방위산업진흥회 2000 國防과 技術 Vol.- No.256
현대전은 군수면에서의 기술적 우세에 의해 전쟁의 승패가 결정된다는 걸프전의 교훈을 바탕으로, 주요 선진국들은 나름대로의 계획과 형편에 따라 주변기술의 발전과 더불어 주력전차 공격력의 핵심인 사격통제장치를 연구.개발중에 있다. 이러한 주요 선진국들의 사격통제장치 발전추세를 철저하게 분석하여, 우리 군의 현실태와 앞으로의 나아갈 바를 판단할 수 있는 계기를 마련하고, 이에 적극적으로 대처하는 연구.개발 활동과 접근 자세가 내부적으로 더욱 필요하다고 판단된다.
고주파열치료(Radiofrequency Ablation) 후 발생한 합병증 증례 개복하 고주파열치료 후 발생한 발열, 혈소판 감소증 및 간기능 저하
이재길 ( Jae Gil Lee ),김석모 ( Suk Mo Kim ),김경식 ( Kyung Sik Kim ),원종윤 ( Jong Yoon Won ),유내춘 ( Nae Chun Yoo ),윤동섭 ( Dong Sup Yoon ),최진섭 ( Jin Sub Choi ),이우정 ( Woo Jung Lee ),김병로 ( Byong Ro Kim ) 대한간암학회 2005 대한간암학회지 Vol.5 No.-
스마트폰과 초음파센서를 이용한 사용자 편의성이 향상된 절전형 선풍기
이재길(Jae-Gil Lee),김원미(Won-Mi Kim) 한국컴퓨터정보학회 2013 한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집 Vol.21 No.1
선풍기를 켜둔 채 잠시 자리를 비우거나 선풍기의 속도를 조절하고 싶은 경우가 자주 있다. 이 경우 선풍기가 가까이에 위치하는 경우는 문제가 없지만 벽걸이 형 선풍기 또는 선풍기가 사람 가까이에 위치하지 않는 경우, 선풍기의 속도 조절 또는 ON/OFF 제어를 위해 사용자가 불편함을 겪는 경우가 많다. 원격 제어장치가 추가로 제공되는 선풍기도 있지만 이 경우 원격제어장치를 가까이에 휴대하고 있어야 하는 불편함이 따른다. 그러나 스마트폰은 일반적으로 늘 가까이에 두고 있으므로 스마트폰을 이용하여 원격 제어 한다면 이런 문제가 해결될 것이다. 따라서 우리는 최근 많이 보급되고 있는 스마트폰을 이용하여 원격으로 쉽게 속도를 제어함과 동시에 초음파 센서를 이용하여 사람의 유무를 판단하여 선풍기의 ON/OFF를 자동으로 제어하여 절전도 할 수 있도록 장치와 스마트폰용 응용 프로그램을 개발하였다. 개발된 장치는 사용자 편의성이 높아짐과 동시에 전기도 절약되는 장점을 가진다.