http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
VCM을 이용한 리소그래피용 레티클 스테이지의 설계 및 기구학적 해석
오민택(Min-taek Oh),김문수(Mun-su Kim),김정한(Jung-han Kim) 한국생산제조학회 2008 한국생산제조학회지 Vol.17 No.3
This paper presents a design of the reticle stage for lithography using VCM(Voice Coil Motor) and kinematic analysis. The stage has three axes for X,Y,θ<SUB>z</SUB>, those actuated by three VCM’s individually. The reticle stage has cross coupled relations between X,Y,θ<SUB>z</SUB> axes, and the closed solution of the forward/inverse kinematics were solved to get an accurate reference position. The reticle stage for lithography was designed for reaching both high accuracy and long stroke, which was 0.1㎛ (X,Y)/ 1μrad(θ<SUB>z</SUB>) accuracies and relatively long strokes about 2mm (X,Y) and 2 degrees(θ<SUB>z</SUB>). Also this research presents a rotational compensation algorithm for the precision gap sensor for the stage. Simulation results show the overall performance of the whole algorithm and the improvement quantity of the rotational compensation algorithm.
VCM을 이용한 노광기용 정밀 레티클 스테이지의 저진동 제어시스템 개발
김문수(Mun-Su Kim),오민택(Min-Taek Oh),김정한(Jung-Han Kim) 한국생산제조학회 2008 한국생산제조학회지 Vol.17 No.4
This paper presents a new design of the precision stage for the reticle in lithography process and a low hunting control method for the stage. The stage has three axes for X, Y, θ<SUB>z</SUB>, those actuated by three voice coil motors individually. The designed reticle stage system has three gap sensors and voice coil motors, and supported by four air bearings and the forward/inverse kinematics of the stage were solved to get an accurate reference position. When a stage is in regulating control mode, there always exist small fluctuations(stage hunting) in the stage movement. Because the low stage hunting characteristic is very important in recent lithography and nano-level applications, a special regulating controller for ultra low hunting is proposed in this paper. Also this research proposed the 2-step transmission system for preventing the noise infection from environmental devices. The experimental results showed the proposed regulating control system reduced hunting noise as 35㎚(rms) when a conventional PID generates 77㎚(rms) in the same mechanical system. Besides the reticle stage has 100㎚ linear accuracy and lμrad rotation accuracy at the control frequency of 8㎑.
데이터 증강을 통한 안전모 착용 여부 확인 객체 탐지 모델 성능 향상 연구
조재호 ( Jae-ho Cho ),이현준 ( Hyun-joon Lee ),전광휘 ( Gwang-hwi Jeon ),오민택 ( Min-taek Oh ),윤상범 ( Sang-bum Yoon ) 한국정보처리학회 2023 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.30 No.2
안전모 착용 여부를 확인하는 객체 탐지 모델을 물류 현장에서 활용하기 위해서는 안전모를 착용한 경우와 착용하지 않은 경우를 정확하게 탐지해야 한다. 하지만 학습 데이터가 안전모를 착용한 클래스와 착용하지 않은 클래스 간 불균형이 존재하는 경우 해당 데이터만으로는 태스크에 맞게 학습이 됐다고 보긴 힘들다. 본 연구는 데이터 증강 기법 적용 시 임의의 데이터에 증강을 적용하는 대신 상대적으로 적은 안전모를 착용하지 않은 클래스를 포함하는 이미지에 대하여 데이터 증강 기법을 적용하였다. 여러 데이터 증강 기법 중 Rotation, Gaussian Noise, 객체를 기준으로 한 Crop을 직접구현 및 적용하여 객체 탐지 모델인 YOLOv5의 성능을 효과적으로 높이며 더욱 강건한 모델을 개발하는 방법을 제안한다.