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극저온 자화 유도 결합 플라즈마를 이용한 Platinum 식각에 관한 연구
김진성(J. S. Kim),김정훈(J. H. Kim),김윤택(Y. T. Kim),황기웅(K. W. Whang),주정훈(J. H. Joo),김진웅(J. W. Kim) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.4(1)
극저온 자화 유도 결합 플라즈마 장치에서 Platinum 건식 식각의 특성을 연구하였다. Platinum 식각에서는 스퍼터링되어 방출된 Pt가 PR과 함께 형상 식각된 Pt의 측면에 재증착(redeposition)되는 문제점이 있다. 본 실험에서는 이러한 재증착으로 형성된 fence의 제거와 나아가 새로운 Pt 식각 기술의 제안을 목적으로 극저온 자화 유도 결합 플라즈마 발생 장치의 여러 변수를 변화시키며 Pt의 식각 특성을 조사하였다. 실험 변수로는 RF 전력, 압력, 바이어스 전압, 기판 온도, 가스 혼합 비율로 하였으며 주된 관찰 대상은 fence의 형성과 그 모양이었다. 실험 결과 바이어스 전력이 높아질수록 fence의 높이가 현저히 낮아졌으나 fence를 완전히 제거하지는 못하였다. 기판 온도가 -190℃인 극저온에서는 상온에서의 결과보다 fence의 높이가 20% 낮은 결과를 얻었으나 이는 극저온에서의 PR 식각 속도가 상온에서의 경우보다 큰 것에 그 원인이 있는 것으로 보인다. 가스의 혼합 변수에서는 Ar과 SF_6의 혼합 비율을 변화시켰으며 Ar/SF_6 플라즈마를 이용한 식각에서는 SF_6의 비율이 전체 유입 가스의 14% 이상인 조건에서 fence가 제거되며 화학 반응이 참여한 식각 특성과 유사한 경향을 가짐을 확인하였다. Characteristics of platinum dry etching were investigated in a cryogenic magnetized inductively coupled plasma (MICP). The problem with platinum etching is the redeposition of sputtered platinum on the sidewall. Because of the redeposits on the sidewall, the etching of patterned platinum structure produces feature sizes that exceed the original dimension of the PR size and the etch profile has needle-like shape [1]. The main object of this study was to investigate a new process technology for fence-free Pt etching. As bias voltage increased, the height of fence was reduced. In cryogenic etching, the height of fence was reduced to 20% at -190℃ compared with that of room temperature, however the etch profile was not still fence-free. In Ar/SF_6 Plasma, fence-free Pt etching was possible. As the ratio of SF_6 gas flow is more than 14% of total gas flow, the etch profile had no fence. Chemical reaction seemed to take place in the etch process.
김진웅(J.W.Kim),서창덕(C.D.Suh),권춘자(C J Kwon),이준동(J D Lee),고광현(K H Koh),임인칠(I C Lim) 한국정보과학회 1989 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.16 No.1
본 논문에서는 한일 기계번역 시스템의 처리속도 문제를 개선시킨 알고리즘을 제안한다. 관계규칙과 사전사이의 상호관계를 고려하여 제안된 알고리즘을 사용함으로 번역 시스템을 효율적으로 구성한다. 번역 시스템의 형태소분석 과정은 선형적인 한국어 입력문을 대상으로 필요한 데이타만을 데이타 베이스에 할당함으로써, 번역대상 영역에 한정된 사전을 구성하여 사전검색 효율을 높일 수 있다. 또한 번역발생 사전을 구성하여 관계 규칙에 적용된 형태소들을 어휘 단위로 저장함으로서 형태소 분석과정을 되풀이 하지 않도록 하는 방법을 제안한다.
박진용(J. Y. Park),김진웅(J. O. Kim),박진형(J. H. Park),최선준(S. J. Choi) 한국자동차공학회 1996 한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집 Vol.1996 No.11_1
In the automotive suspension system, especially, Mcpherson strut type, if the resultant of the force through tire and the link reaction force is not coincident with the spring force, the side load against shock-absorber occur. The magnitude of side load is proportional to the difference between resultant force and spring force. To reduce side load, several method can be used, and one is to use the side load coil spring. This study summarize the development results of side load coil spring, ie., how to design, analysis, manufacture, and test.<br/>
이준동(J D.Lee),서창덕(C.D Suh),권춘자(C.J.Kwon),신청식(C S.Shin),김진웅(J.W.Kim),한기태(G.T.Han),임인칠(I.C.Lim) 한국정보과학회 1989 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.16 No.2
본 논문에서는 한국어 - 일본어 기계번역시스템 구성에서 앞뒤문장을 이용하여 다의어 처리문제를 개선시킨 문장의미분석 방법을 제안한다. 즉, 소리글자인 한국어를 일본어로 번역할 때 발생하는 다의어처리에 대한 방법으로서 단일문장안에서 발생하는 명사와 동사의 다의성은 그 명사와 동사의 의미속성을 검출하여 의미해석을 하였으나 명사와 동사의 의미속성이 이중으로 일치하는 동시다의성 발생시에는 의미해석의 모호성이 발생하게 된다. 따라서 본 논문은 의미해석의 범위를 모호성이 발생된 현재문장을 중심으로 앞뒤문장까지 확장하여 동일단어 검색, 동의어 검색, semantic관계 검색 및 문장속성 접속을 이용함으로서 동시다의성을 해결하는 문장의미분석 방법을 제안한다.
김재곤,최진수,김진웅,Kim, J.G.,Choi, J.S.,Kim, J.W. 한국전자통신연구원 2004 전자통신동향분석 Vol.19 No.4
방송의 디지털화에 따라 다매체, 다채널뿐만 아니라 기존의 단방향 방송 수신에서 방송통신망 연동을 통한 다양한 수신 단말의 수용 등 복잡한 형태로 방송환경이 빠르게 변하고 있다. 특히, 제한된 채널 선택만으로 방송 프로그램을 시청하는 수동적 시청에서 벗어나 원하는 시간에 원하는 프로그램을 시청하고자하는 사용자 요구 증대가 방송환경의 진화를 촉진하는 중요한 요소의 하나가 되고 있다. 본 고에서는 이렇게 복잡하게 진화되고 있는 새로운 방송환경에서 시청자가 좀 더 편리하고 효율적으로 원하는 방송 콘텐츠를 시청할 수 있도록 하는 새로운 방송 서비스로 주목 받고 있는 맞춤형방송(personalized TV ser-vices)에 대해서 다룬다. 맞춤형방송은 방송 스케줄에 제한 받지 않고 원하는 시간에, 다양한 단말에서, 시청자가 기호에 맞게 방송 콘텐츠를 소비할 수 있는 개인 맞춤형 서비스를 제공한다. 본 고에서는 이러한 맞춤형방송 서비스를 위한 민간 국제표준인 TV-Anytime Forum의 표준 기술과 표준화 동향을 분석 소개하고자 한다.
디지털 홀로그래피를 위한 대면적 공간광변조기 패널 기술
황치선,김용해,김기현,양종헌,피재은,황치영,최지훈,김진웅,Hwang, C.S.,Kim, Y.H.,Kim, G.H.,Yang, J.H.,Pi, J.E.,Hwang, C.Y.,Choi, J.,Kim, J. 한국전자통신연구원 2016 전자통신동향분석 Vol.31 No.6
디지털 홀로그래피가 아날로그 홀로그래피와 비슷한 품질을 나타내기 위해서는 $1{\mu}m$의 픽셀피치를 가지고 있는 대면적 SLM 개발이 필수적이다. 이러한 대면적 초고해상도 SLM을 구현하기 위해서는 최근 미세 픽셀 기술이 급격히 발전하고 있는 대면적 지향의 평판디스플레이 기술을 기반으로 개발되어야 할 것으로 생각된다. 디스플레이 기술을 기반으로 스티칭 기술 등의 포토리소그래피 기술과 수직채널 TFT등의 구동 소자 기술, 고굴절율 이방성을 가지는 액정 소재 기술, 모듈 기반의 구동 기술 등을 집약하여 $1{\mu}m$급의 픽셀 피치를 가지는 대면적 초고해상도 SLM을 개발 중이다. 이렇게 개발된 초고해상도 대면적 SLM은 홀로그램 영상 재현 이외에도 다양한 광학 소자로 응용이 기대된다.
박중기,윤민성,김재한,추현곤,최진수,김진웅,Park, J.K.,Yoon, M.S.,Kim, J.H.,Choo, H.G.,Choi, J.S.,Kim, J.W. 한국전자통신연구원 2015 전자통신동향분석 Vol.30 No.3
디지털 홀로그래피는 가간섭성 광원을 이용하여 광파의 진폭 정보뿐만 아니라 위상 정보를 기록 또는 재생하는 기술이다. 이러한 홀로그래피 방식의 광파 재생은 광파를 산란시키는 3차원 대상물을 정확하게 표현할 수 있어서 이상적인 디스플레이 방법으로 여겨진다. 본고에서는 디지털 홀로그래픽 디스플레이와 기존의 홀로그래픽 디스플레이가 갖고 있는 제한된 시야각을 확장하여 360도 방향에서 홀로그램 입체영상을 자유자재로 즐길 수 있는 테이블탑 형태의 홀로그래픽 디스플레이 기술을 소개한다.
박구만(G.M Park),이영주(Y.J Lee),이광직(K.J Lee),안성제(S.J Ahn),전동산(D.S Jun),최진수(J.S Choi),김진웅(J.W Kim) 한국방송·미디어공학회 2011 한국방송공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2011 No.11
본 논문에서는 UHDTV에 관련된 최근 기술 및 서비스 개발 동향을 조사하고 바람직한 기술 개발 및 서비스 도입을 위해 필수적인 고려 사항들을 분석하고 개발 방향을 제시하고자 하였다. UHDTV 분야에서 앞선 해외 사례를 소개하고, 이를 토대로 지향해야 할 기술요소들을 선정하여 개발 방향을 제시하였다. 또한 글로벌 미디어 시장에서 차세대 방송 서비스를 주도하기 위해 선결되어야 할 주요 정책적 과제를 제안하였다.
장은영,허남호,김진웅,이수인,Chang, E.Y.,Hur, N.H.,Kim, J.W.,Lee, S.I. 한국전자통신연구원 2006 전자통신동향분석 Vol.21 No.4
3차원 메시 모델은 컴퓨터 그래픽스, 애니메이션, 3D 모델링, CAD, 3D 게임 등의 다양한 응용 분야에서 광범위하게 사용되고 있다. 그러나, 현실감을 줄 수 있는 고해상도의3차원 모델은 그 정보량의 방대함으로 인해 처리, 저장, 전송 등에 있어 여러 가지 어려움이 따른다. 따라서, 이를 효율적으로 압축하여 저장 및 전송하기 위한 3차원 메시 모델 부호화 기술이 연구되어 왔다. 본 고에서는 3차원 메시 부호화 기술에 대한 연구 개발 동향과 이에 대한 표준화 동향을 소개한다. 또한, 3차원 메시 부호화 기술과 관련하여 ETRI에서 연구중인 정점 및 면 순서 정보 부호화 기술과 텍스처 좌표 부호화 기술의 내용과 이에 대한 연구 활동 현황을 요약하고, 주요 이슈 논의 및 향후 전망에 대해 간략히 살펴보고자 한다.