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구경완(K.W. Koo),김일중(I.J. Kim),손만수(M.S. Son),권용만(Y.M. Kwon),류기현(K.H. Ryou) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.10
천안아산지역 산업단지를 중심으로 연간에너지 사용량이 2,000[TOE](수전설비 1,000[㎾] 이하 자가용 전기설비) 미만의 사업장에 대해 전기에너지 소비진단을 수행하였고, 진단업체의 연간에너지 사용량과 계약용량, 평균전력, 역률 등의 현황과 문제점 파악을 통해 에너지 절감방안을 제시하였다.
Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi₂ 박막 개선에 관한 연구
최병선(B. S. Choi),구경완(K. W. Koo),천희곤(H. G. Chun),조동율(T. Y. Cho) 한국진공학회(ASCT) 1992 Applied Science and Convergence Technology Vol.1 No.1
Ion beam mixing과 질소분위기에서 Rapid Thermal Annealing을 이용하여 형성된 TiSi₂ 박막의 표면과 계면의 물리적, 전기적 특성이 크게 개선되었으며, 기존 Ti-SALICIDE의 신뢰도 측면에서 문제가 될 수 있는 Oxide Spacer 상에서의 Lateral Silicide 형성이 최대한 억제될 수 있었다. 또한, Ti-SALICIDE 공정에서의 Ti/Si와 Ti/SiO₂의 Interaction을 반응조건별로 연구하였다. The surface and interface morphology as well as the sheet resistance, and uniformity of TiSi₂ film are significantly improved and the lateral titanium silicide growth over the oxide spacer is minimized by the use of ion beam mixing and rapid thermal annealing in nitrogen ambient. In addition, TiSi₂ film formations on Ti/Si and Ti/SiO₂ system were also studied.
정진도(J D Chung),구경완(K W Koo),김장우(J W Kim),신태용(T Y Shin),설진호(J H Seol),권영석(Y S Kwon),이종연(J Y Lee) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.10
환경기초시설에서 발생하는 바이오가스 중 주종을 이루고 있는 일산화탄소와 메탄가스는 대표적인 온실가스로 분류 되고 있으며, 폭발 위험성을 내포하고 있고, 암모니아, 황화수소 등의 악취 및 유해성물질을 함유하고 있다. 따라서 이러한 가스를 사전에 처리할 필요성이 있다. 본 연구에서는 환경기초시설에서 발생되는 CH₄, CO₂, H₂S의 발생량을 조사하고 발생하는 바이오가스를 이용하여 고체전해질 연료전지로 활용하였을 경우를 분석 및 조사하여 환경기초시설의 바이오가스의 활용도 및 에너지 효율을 높이고자 한다.