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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : 강명우(Myeongwoo Kang) (검색결과 1 건)
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      • OHP 필름을 이용한 소프트리소그래피 마스터 제작 및 응용

        변재환(Jaehwan Byun),강명우(Myeongwoo Kang),전누리(Noo Li Jeon) 대한기계학회 2011 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2011 No.10

        An alternative fabrication material for casting molds using soft-lithography is presented. A commercial OHP film is applied as the substrate of photolithography, as a substitute for silicon or glass wafers. Unlike from conventional wafers, OHP film is flexible, easy and safe to handle, additionally the total cost for making SU-8 patterned master on OHP is less than half of conventional photolithography process due to the extremely low cost. Especially, proper feature quality of patterned PR is achieved for the not only the field of microfluidics but also biochips of micron scale. And we developed a film master holder which enhances the convenience for peeling off PDMS replica from film masters and holds the patterned film flat. Due to the high quality patterned features achieved on film masters, it can be the basis for various applications of photolithography. For instance, flexibility makes it possible to fabricate pseudo 3D molds or in-time double side soft-lithography.

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