플라즈마 화학증착법을 이용한 (Ti₁-ⅹAlⅹ)N 박막의 제조 및 특성에 관한 연구 = Preparation and properties of the (Ti₁-ⅹAlⅹ)N coatings deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition|RISS 상세보기

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예시)

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저자

이상협
발행사항
서울 : 서울대학교 대학원, 1995
학위논문사항

학위논문(박사) -- 서울대학교 대학원 , 금속공학과 , 1995
발행연도
1995
작성언어
한국어
주제어

플라즈마 ; 화학증착법 ; PREPARATION ; PROPERTIES ; DEPOSITED ; PLASMA ; ENHANCED ; DEPOSITION
KDC
559.7932 판사항(3)
발행국(도시)
서울
형태사항
ix,115장 : 삽도,도판 ; 26cm
소장기관
- 국립중앙도서관
- 서울대학교 중앙도서관
- 순천제일대학교 도서관
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