AZ31합금위에 RF-CVD법에 의한 Si-DLC 코팅층의 미세구조 및 물성에 관한 연구 = The study on Properties and Microstructural Change of Si-DLC films deposited on AZ31 alloys by RF-CVD Coating Process

국문 초록 (Abstract)

본 연구에서는 RF-PECVD를 이용하여 마그네슘 합금(AZ31)위에 코팅 조건에 따라 DLC 및 Si-DLC 코팅 한 후 형성된 박막층의 모재와의 계면특성을 HRTEM(High Resolution Transmision Electromicroscope)으로 고찰하고, 코팅 전·후의 기계적 특성, 마모특성 및 부식거동을 비교해 보고자 하였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

In this study, we investigated the properties and microstructual changes after the coating of Si-DLC layers on AZ31 alloys by RF-CVD coating process. The characteristic of Si-DLC films were evaluated by various techniques including high resolution transmission electromicros cope, micro raman spectroscope, nano indentation, potentiostat/galanos tat, and revetest dynamic scratch adhesion tester.

목차 (Table of Contents)

• 1. 서 론 1
• 2. 이론적 배경 3
• 2.1. 마그네슘의 결정구조 3
• 2.2. 순 마그네슘 및 마그네슘 합금의 기초물성 4
• 2.3. 다이아몬드상 카본 박막 7
• 2.4. DLC 코팅의 합성방법 12
• 2.5. DLC 코팅의 응용 13
• 3. 실험방법 15
• 3.1. 마그네슘 기지 합금시료 15
• 3.2. RF-PECVD 장치 15
• 3.2.1. 장치구성 15
• 3.2.2. 코팅조건 17
• 3.3. 코팅층의 미세구조 및 물성변화 19
• 4. 결과 및 고찰 21
• 4.1. AZ31 합금의 미세구조 21
• 4.2. 증착조건에 따른 코팅층의 미세구조 분석 22
• 4.3. 라만분광분석 26
• 4.4. 표면 및 결합구조 분석 27
• 4.5. 계면특성 28
• 4.5.1. 부착력, 경도, 마모특성 28
• 4.6. 부식특성 31
• 5. 결 론 33
• 6. 참고문헌 34
• ABSTRACT 36