미세 프리즘 패턴 기반 피라미드 구조체의 가공정밀도 향상 연구 = Improving the machining precision of the pyramid structure bsed on micro prism pattern

목차 (Table of Contents)

• 1. 서론 1
• 1.1. 연구배경 1
• 1.2. 연구목적 5
• 2. 이론적 배경 6
• 2.1. 미세 패턴 가공기술의 개요 6
• 2.2. 교차가공 및 미세피라미드 구조체의 개요 12
• 3. 실험장치 및 방법 21
• 3.1. 실험 장치 21
• 3.1.1 미세 패턴 가공 시스템 21
• 3.1.2 실험 데이터 측정 장치 25
• 3.2. 미세 패턴 금형가공 실험 28
• 3.2.1 적정 가공조건 선정을 위한 프리즘 패턴 금형가공 실험 28
• 3.2.2 피라미드 구조체 가공실험 29
• 4. 실험결과 및 고찰 32
• 4.1. 프리즘 패턴 적정 가공조건 선정 실험 32
• 4.1.1 가공조건에 따른 표면형상 비교 32
• 4.1.2 가공조건에 따른 절삭력 및 표면거칠기 영향 37
• 4.2. 피라미드 구조체 가공실험 39
• 4.2.1 프리즘 패턴 가공결과 39
• 4.2.2 사각 피라미드 패턴 가공결과 42
• 4.2.3 삼각 피라미드 패턴 가공결과 46
• 4.3. 가공위치 보정에 의한 삼각 피라미드 패턴 가공실험 49
• 4.3.1 교차점 일치를 위한 가공위치 보정 49
• 4.3.2 삼각 피라미드 패턴 가공특성 분석 57
• 5. 결론 63
• 참고문헌 65
• Abstract 73