http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
- 中文 을 입력하시려면 zhongwen을 입력하시고 space를누르시면됩니다.
- 北京 을 입력하시려면 beijing을 입력하시고 space를 누르시면 됩니다.
RISS 인기검색어
- 검색키워드
- 저자 : 오영륙 (검색결과 1 건)
- 무료
- 기관 내 무료
- 유료
-
성덕경,방경윤,오영륙,최은호,안일신,김옥경 한양대학교 이학기술연구소 2003 이학기술연구지 Vol.6 No.-
Spectroscopic ellipsometry 은 다양한 물질의 광학적 특징을 연구할 수 있는 강력한 기술이다. 현재 실리콘 웨이퍼 위의 박막 분석에는 그 효율성이 확실히 입증되어 있다. 그러나 현재 산업은 유리 기판위의 박막을 분석하기를 원하고 있다. Ellipsometry로 투명기판을 분석하기 위해서는 후면 반사에의한 비간섭성 효과를 고려해야 한다. 기존의 반사공식을 투명기판의 비간섭성을 고려하여 수정하였다. 투명기판 위의 샘플과 scratch를 낸 같은 샘플을 측정 분석하여 정확성을 확인하였다. 수정된 반사공식을 이용하면 디스플레이와 같은 투명재료를 이용하는 곳에 유용하게 사용될 것으로 기대되고 있다. A Spectroscpic ellipsometry is very strong technology to study optical properties of many materials. It has already substantiated a analytic efficiency about thin films above wafers to be made of silicon. However, the current industry needs thin films analyzed on a glass. When we analyze a glass using a ellipsometry, we have to consider a efficiency of incoherence due to reflect at the back side. So then, we slightly altered the original formula. We compared a scratched sample with a sample on the glass, because off getting a exactitude. Our technical development, using the changed formula, is expected the useful utilization in a part of using gIasses such as display.
연관 검색어 추천
이 검색어로 많이 본 자료
활용도 높은 자료
