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박경우(Kyoungwoo Park),박차식(Cha-Sik Park),심성태(Sung-Tae Sim) 대한설비공학회 2011 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2011 No.7
An exposure process, which is making a pattern at photoresist, is one of the key technologies in the field of semiconductor chip production. Therefore, researches on performance improvement of an exposure apparatus have been carried out recently. In this paper, CFD was used to predict the flow characteristics numerically in exposure apparatus in order to suggest the new shape for performance improvement. For them, analyses were performed for seven different shapes of exposure apparatus and parametric studies were carried out to suggest the efficient flow scheme that can reduce the vortex. As the results of this study, vortex is generally formed in the stage that is occurred an exposure at granite surface plate gap. Consequently, it is also found the modified shape which can reduce the strength of vortex in the stage. Henceforth, the authors will compare with real data of exposure apparatus in recent days.
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이주희(Juhee Lee),임효재(Hyo-Jae Lim),심성태(Sung-Tae Sim),박경우(Kyoungwoo Park) 대한기계학회 2010 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2010 No.11
산업계에서 기체와 고체를 분리하는 장치로서 사이클론은 지난 한 세기 동안 다양하게 사용되어 왔다. 그러나 설계를 위하여 사용하는 실험식은 최종적으로 만들어진 사이클론의 성능을 정확하게 예측하는 데에는 많은 어려움이 있다. 이 연구의 목적은 이러한 고효율 사이클론에 있어서 내부 유동의 특성을 파악을 통하여 성능을 정확하게 예측하는데 있다. 일반적으로 입구의 속도를 증가시키게 되면 분리효율은 증가하나 입력손실이 급격히 증가하게 된다. 정확한 성능의 예측은 사이클론의 운영에 중요한 역할을 한다. 사이클론 내부의 난동성분은 모든 방향으로 균일하지 않으며 랭킨와와 같은 형태의 방향성을 가지고 있다. 그러므로 이러한 유동을 정확하게 예측하기 위하여 RSM 모델을 사용하였다. 모델의 정확성을 검증하기 위하여 실험과 그 결과를 비교하였다. The gas-solids cyclone separator is a dust collection device that has been widely used in industry for more than a century. The currently used empirical models for the prediction of cyclone performance exhibit limited accuracy and generality. The purpose of this study is to extend the physical mechanism of the high efficiency cyclone. Generally, the increase of inlet velocity of gas improves the separation efficiency, while it results in increasing in the pressure losses nonlinearly. In this study, the RSM (Reynolds Stress Model) is employed since the RSM can only predict flow characteristics of Rankine vortex properly. The validation of CFD model is carried out by comparing with experimental results. The clean gas (air) without solids is considered as a media and the gas flow in the cyclone is investigated in detail.
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