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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : Qiuping Luan (검색결과 1 건)
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      • KCI등재

        Embedded-Ge source and drain in InGaAs/GaAs dual channel MESFET

        Shang-Chao Hung,Qiuping Luan,Hau-Yu Lin,Shuguang Li,Shoou-Jinn Chang 한국물리학회 2013 Current Applied Physics Vol.13 No.8

        We report the first demonstration of n-type IIIeV metal-semiconductor field-effect transistors (nMESFETs) with IV group material hetero-junction source and drain (S/D) technology. A selective epitaxial growth of germanium (Ge) in the recessed gallium arsenide (GaAs) S/D regions is successfully developed using ultra-high vacuum chemical vapor deposition (UHVCVD) system. The dual channel structure includes an additional 10-nm higher mobility n-In0.2Ga0.8As layer on n-GaAs channel and is introduced to further improve the device performance. The n-MESFET, combining embedded-Ge S/D with In0.2Ga0.8As/GaAs channel, exhibits good transfer properties with a drain current on/off ratio of approximately 103. Due to the small barrier height of Ti/In0.2Ga0.8As Schottky contact, a lattice-matched wide bandgap In0.49Ga0.51P dielectric layer is also integrated into the device architecture to build a higher electron Schottky barrier height (SBH) for gate leakage current reduction. The Ti/In0.49Ga0.51P/n-In0.2Ga0.8As Schottky diode shows a comparable leakage level to Ti/n-GaAs with 2 x 10-2 A/cm2 at a gate voltage of -2.0 V.

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