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Development of X-ray Mask Fabrication Process Using W-sputtering
Ahn, Jinho,LEE, Taeho,LEE, Seungyoon 대한금속재료학회(대한금속학회) 1997 METALS AND MATERIALS International Vol.3 No.4
Properties of DC magnetron sputter-deposited W and WNx absorber films were investigated for x-ray mask applications. Low stress film (≤5 × 10^8 dyne/㎠ tensile stress) is difficult to obtain with pure Ar gas as the film stress changes from highly compressive to highly tensile with pressure change. The variation of stress with pressure is significantly reduced with N₂/Ar mixture gas, and a reasonable tensile stress and stress stability were obtained with 5% N₂ at 3.5 mTorr. Film density decreases with increasing sputtering pressure and N₂/Ar + N₂ ratio. XRD patterns for films deposited at 3.5 mTorr show crystalline α-W structure for Ar sputtered film but amorphous structure for 5% N₂-sputtered film. Surface smoothness is very good at 5% N, but further increase of N₂/Ar+N₂ ratio results in a surface roughening and this is also confirmed by TEM analysis. At this sputtering condition (5% N₂, 3.5 mTorr), film stress stability during air-exposure and annealing was also superior, suggesting a optimum process condition for W-based absorber films.
Ahn, Jinho,Park, Sunhong,Lee, Ji Ha,Jung, Sung Ho,Moon, Seung-Jin,Jung, Jong Hwa The Royal Society of Chemistry 2013 Chemical communications Vol.49 No.21
<P>Amide-linked tripyridine derivatives <B>1</B>, with a <I>para</I>-substituent, and <B>2</B>, with a <I>meta</I>-substituent, were gelated in water or water–DMSO. The gelation capabilities of <B>1</B> and <B>2</B> were attributed to the cooperative effects of mainly CH–π and π–π stacking or strong intermolecular hydrogen bonding interactions between the amide groups. The fluorescence properties of gels <B>1</B> and <B>2</B> were dependent on the binding strength of the π–π stacking.</P> <P>Graphic Abstract</P><P>The fluorescence intensity of <I>meta</I>-substituted <B>2</B> was relatively smaller than that of the <I>para</I>-substituted <B>1</B>, indicating that the emission property is also dependent on the binding strength of the π–π stacking. <IMG SRC='http://pubs.rsc.org/services/images/RSCpubs.ePlatform.Service.FreeContent.ImageService.svc/ImageService/image/GA?id=c2cc37249e'> </P>
Jinho Ahn,Sergey K. Gulev,Peter W. Thorne,Frank J. Dentener,Catia M. Domingues,Sebastian Gerland,Daoyi Gong,Darrell S. Kaufman,Hyacinth C. Nnamchi,Johannes Quaas,Juan A. Rivera,Shubha Sathyendranath,S 한국기상학회 2021 한국기상학회 학술대회 논문집 Vol.2021 No.10
IPCC 6차보고서 2장에서는 현재의 지구시스템 상태를 진단하는데 촛점을 맞추고 있다. 먼저 기후변화의 주요 요인이 되는 대기 이산화탄소 농도의 경우, 현재의 농도는 최근 2백만 동안 경험하지 못한 수준이며, 상승속도는 최소 80만 년 동안 100년 시간규모에서 가장 높다. 지난 수십 년 동안의 기후시스템의 주요 인자는 수백 년 또는 수천 년 동안 경험하지 못한 수준으로 올라가고 있으며, 최소한 과거 2000년 동안 경험하지 못한 속도로 변하고 있다. 지구평균표면온도(GMST)는 1850-1900년 대비 2011-2020년에 약 1.09도 증가하였는데, 육지에서는 1.59도, 해양에서는 0.88도 상승하였다. 전지구적 물순환은 적어도 1980년 이후 강화되었고, 대규모 대기순환은 20세기 중반 이후 강화되었을 가능성이 높다. 북극 해빙(sea ice)의 연평균과 여름철 면적은 적어도 1850년 이후 최소가 된 것이 확실하다. 육상 빙권에서의 변화는 전반적으로 수백 년에서 수천 년 규모에서 유래가 없을 정도이다. 20세기 이후의 해수면 상승 속도는 백 년의 시간 규모에서 적어도 3000년 동안 가장 빠른데, 상승이 가속화 되고 있다. 해양에서도 과거 수백 년에서 수천 년 동안 유래없는 현상이 감지되고 있는데, 해양생물 변화의 경우 대규모 해양온난화와 해양화학 변화와 일치한다. 육상생물 또한 대규모 온난화와 일치하는 변화를 보이고 있다. 중기플리오세온난기(Mid-Pliocene Warm Period, 3.3-3.0 백만 년 전) 동안 지구의 이산화탄소 농도가 지금과 비슷했으나, 현재의 지구보다는 따뜻했는데, 과거의 온난했던 시기는 미래 기후를 예측하는데 도움을 준다.