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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : 조중근(Jung Kun Cho) (검색결과 2 건)
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      • KCI등재

        온도 균일도 향상을 위한 대면적 서셉터의 설계 및 성능 시험

        양학진(Yang, Hac Jin),김성근(Kim, Seong Kun),조중근(Cho, Jung-Geun) 한국산학기술학회 2015 한국산학기술학회논문지 Vol.16 No.6

        서셉터 히터에서 쉬스 열선을 사용하는 방법이 일반화되어 있지만, 대면적 초고온 조건에서는 서셉터의 온도 균일도 성능 저하의 문제가 있다. 본 연구에서는 온도균일도 성능을 향상시킬 수 있도록 판형 형태의 열선을 기본으로 새로운 서셉 터를 설계하여 프로토타입을 개발하였다. 표면 온도 450℃의 고온에서 1.4% 이내로 온도 균일도가 시제작된 서셉터에서 검 증될 수 있었다. 또한 온도 학습 데이터를 이용하여 측정 온도 데이터를 예측할 수 있는 커널 회귀 알고리즘을 개발하고, 이러한 예측 데이터와 측정 데이터의 비교 분석으로 균일도 측정 온도의 신뢰성을 확인할 수 있었다. Although sheath-type heating line is generally used for susceptor heater, performance deterioration problems in temperature uniformity occurs in the case of large scale and high temperature condition. We developed new design and prototype of the susceptor using sheet metal to provide performance improvement in temperature uniformity. Temperature uniformity below 1.4% in the surface temperature condition of 450℃ was verified in the susceptor prototype. Also we developed Kernel regression algorithm to estimate measured temperature using temperature learning data. The reliability of the measured temperature uniformity was confirmed by comparative analysis between predicted data and measured data.

      • SCOPUSKCI등재

        대면적 서셉터의 온도 균일도 검증 알고리즘

        양학진(Hac Jin Yang),김성근(Seong Kun Kim),조중근(Jung Kun Cho) Korean Society for Precision Engineering 2014 한국정밀공학회지 Vol.31 No.10

        Performance of next generation susceptor is affected by temperature uniformity in order to produce reliably large-sized flat panel display. In this paper, we propose a learning estimation model of susceptor to predict and appropriately assess the temperature uniformity. Artificial Neural Networks (ANNs) and Support Vector Machines (SVMs) are compared for the suitability of the learning estimation model. It is proved that SVMs provides more suitable verification of uniformity modeling than ANNs during each stage of temperature variations. Practical procedure for uniformity estimation of susceptor temperature was developed using the SVMs prediction algorithm.

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