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임영택(Young-Taik Lim),신백균(Paik-Kyun Shin),조기선(K-S Cho),박종관(J-K Park),남광우(K-W Nam),이능헌(N-H Lee),임경범(K-B Lim),정무영(M-Y Cheong),송진호(J-H Song) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.7
유기전자소자(Organic-TFT 및 Organic-Memory)용 유전체 고분자박막은 높은 유전상수 및 전계강도와 우수한 표면 및 벌크특성을 요구하고 있다. 자체 제작한 13.56[㎒] RF플라즈마 중합장비를 이용하여 정전 결합 플라즈마(CCP) 방법으로 가교된 ppTh(plasma polymerization Thiophene) 박막을 제작하였다. ppTh박막의 유전 및 절연 특성은 알루미늄/ppTh/알루미늄 구조의 콘덴서를 제작하고 측정하였다.