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나노 임프린팅 기술에 의한 원기둥형 나노 패턴의 PMMA 도광판 형성 기술
이병욱(B. W. Lee),이태성(T. S. Lee),이종하(J. H. Lee),이근우(K. W. Lee),정재훈(J. H. Jung),홍진수(C. Hong),김창교(C. K. Kim) 대한전기학회 2007 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2007 No.11
나노임프린팅 기술을 이용하여 원기둥형 나노 패턴을 갖는 도광판을 제작하였다. 나노 임프린트 공정을 이용하기 위해서는 니켈 스탬퍼가 필요하기 때문에 이를 제작하기 위하여 실리콘 웨이퍼 상에 건식식각을 이용하여 실리콘 몰드를 제작하였다. 제작된 실리콘 몰드를 전주도금을 이용하여 니켈 스탬퍼를 제작하였다. 제작된 니켈 스탬퍼를 사용한 나노임프린트 공정을 통해 원기둥 나노패턴을 갖는 도광판을 제작하였다.