RISS 학술연구정보서비스

검색
다국어 입력

http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.

변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.

예시)
  • 中文 을 입력하시려면 zhongwen을 입력하시고 space를누르시면됩니다.
  • 北京 을 입력하시려면 beijing을 입력하시고 space를 누르시면 됩니다.
닫기
    인기검색어 순위 펼치기

    RISS 인기검색어

      검색결과 좁혀 보기

      선택해제

      오늘 본 자료

      • 오늘 본 자료가 없습니다.
      더보기
      • 무료
      • 기관 내 무료
      • 유료
      • 실리콘 이온주입 SiO₂층의 나노결정으로부터의 광루미네센스

        위덕대학교 산업기술연구소 위덕대학교 산업기술연구소 2001 산업기술연구소 논문집 Vol.5 No.1

        실리콘 기판 위에 형성한 열산화막에 실리콘이온을 주입하고 열처리를 수행한 후, 광루미네센스 (photoluminescence: PL)스펙트럼을 조사하였다. 주입된 실리콘이온의 도즈량과 열처리 온도에 따른 PL스펙트럼의 변화를 조사한 결과, 실리콘이온 주입된 열산화막의 광루미네센스가 실리콘 나노결정에 기인함을 알 수 있었다. 산화막을 1분 간격으로 습식 식각하면서 식각 량에 따른 PL특성의 변화를 조사하여, PL피크(peak)를 결정하는 요소는 산화막내에 분포하는 나노 결정의 크기와 수에 밀접한 상관이 있음을 알 수 있었다. 본 연구 결과에 의한 PL피크의 범위는 680nm~830nm 대이었다. Photoluminescence(PL) spectrum of Si^(+) ion-implanted SiO_(2) film with thermal annealing process was investigated. The sample with higher dose Si^(+) ion revealed longer wavelength peak. However PL intensity of higher dose sample was smaller than that of lower dose implanted one. PL peak moved to longer wavelength as the temperature of thermal annealing process became to be high. PL spectrum was observed after wet etching of the annealed Si^(+)implanted SiO_(2) film at every one minute BOE etchant. PL spectrum is considered to be resulted as dominant size and quantity of nano-crystalline silicon in the annealed SiO_(2) film with Si^(+) ion. The PL peak range resulted from our experiment was 680nm~830nm.

      연관 검색어 추천

      이 검색어로 많이 본 자료

      활용도 높은 자료

      해외이동버튼