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왕태희(Tae-hui Wang),박민상(Min-sang Park),김미진(Mi-jin Kim),유다희(Da-hui Yoo),이호준(Ho-jun Lee) 대한전기학회 2021 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2021 No.10
본 연구에서 유도결합형 플라즈마 발생 장치를 사용하였으며, Ar gas를 사용하여 플라즈마를 발생시켰다. Langmuir probe, cut-off probe를 이용해 인가 파워 및 압력 변화에 따른 플라즈마 특성을 관찰하였다. 압력이 증가할수록 플라즈마 전위와 전자 온도는 감소하며, 플라즈마의 밀도는 증가함을 알 수 있었다.