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신덕진(Duck-Jin Shin),이지영(Ji-Young Lee),유윤식(Yun-sik Yu),유일(Il Yu),이돈규(Donkyu Lee) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.11
가스 감지물질로 ZnO, SnO₂, TiO₂, WO₃등 금속산화물 반도체 센서가 연구되었다. 그 중 WO₃는 가연성 가스 및 유독가스에 대한 감도가 우수한 것으로 알려져 있다. WO₃에 SnO₂, ZnO, TiO₂ 등을 첨가하여 감지특성을 향상시키는 연구도 진행 되었다. 본 연구에서는 WO₃-CuO 센서를 제조하여 CuO 농도변화 및 미세구조 변화에 의한 특성을 고찰하기 위하여 열처리 온도를 변화시켰다. 출발물질은 WO₃(Kojundo, 99.9%)와 CuO(dae jung)를 사용하였다. CuO의 농도를 0~8wt% 변화시켜 증류수에 녹인 후 교반된 WO₃와 혼합하여 암모니아를 2~3방울 떨어뜨린 후 10분간 교반 하였다, 그 후 80℃, 8시간동안 오븐건조하여 얻어진 WO₃-CuO 분말을 얻었고 500℃~700℃에서 30분간 열처리 하여 감지물질을 제조하였다. 소자는 제조된 감지물질과 유기용제를 6:4비율로 혼합한 페이스트를 전극이 입혀진 알루미나 기판위에 스크린프린팅 법으로 제조하였다. 농도 및 열처리 온도에 따른 미세구조 변화 및 특징을 SEM과 XRD등으로 측정 하였고, H₂S, CO₂ 가스에 대한 전기적 특성을 조사하였다.
신덕진(Duck-Jin Shin),이지영(Ji-Young Lee),정종훈(Jong-Hun Jung),유윤식(Yoon-Sick Yu),유일(Il Yu),이돈규(Donkyu Lee) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.7
휘발성 가스 및 유독가스에 높은 감도를 가지는 WO₃후막센서를 스크린프린팅법으로 제작하였다. 감지물질은 WO₃분말을 알루미나 볼로 시간에 따라 볼밀 하여 6wt% In을 첨가하여 감지물질을 제조하였다. 입자의 결정구조는 볼밀 시간에 관계없이 monoclinic구조가 나타났고, 볼밀시간이 증가 할수록 결정성이 감소하는것을 확인하였다. 볼밀시간이 길어질수록 WO₃입자의 크기는 작아져 72시간 볼밀 한 경우 약 200 ㎚였다.
이지영(Ji-Young Lee),신덕진(Duck-Jin Shin),이돈규(Donkyu Lee),유일(Il Yu) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.11
Cu와 In이 침가된 SnO₂ 후막형 가스센서는 감지물질로 SnO₂(Kojundo, 순도 99.9%, 입자 1㎛), 촉매로 Cu(Dae jung), In(Aldrich, 순도 98%) 사용하였다. SnO₂:Cu, In은 분말을 80℃에서 8시간 건조 후, 열처리 온도를 500, 600, 700℃까지 변화 시켜 SnO₂:Cu, In 분말을 얻었다. SnO₂:Cu, In 가스센서용 감지물질은 알루미나 기관에 스크린 프린터를 이용하여 후막으로 제조하였고, 열처리 온도에 따른 특성을 XRD, SEM등을 측정을 하였다. CO₂가스 2000ppm에 대한 감도를 측정한 결과 Cu의 농도가 8 wt% 첨가된 경우 감도가 가장 높은 것을 확인 할 수 있었다.
입자크기에 따른 SnO₂:Ni 가스센서의 감응 특성 : Effect of the particle size of SnO₂: Ni on properties of gas sensors
이지영(Ji-Young Lee),신덕진(Duck-Jin Shin),정종훈(Jong-Hun Jung),유윤식(Yoon-Sick Yu),유일(Il Yu) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.7
Ni 8 wt% 첨가된 SnO₂ 후막형 가스센서용 감지물질을 입자 크기에 따라 제조하였다. 입자 크기에 따른 SnO₂:Ni 분말은 80 ℃에서 8시간 건조 후, 500 ℃에서 3시간 열처리 하여 입자 크기에 따른 SnO₂:Ni 분말을 얻었다. SnO₂:Ni 가스센서용 감지물질은 알루미나 기판에 스크린 프린터를 이용하여 후막으로 제조하였고, 입자 크기 변화에 따른 특성을 XRD, SEM 그리고 가스 감도 등을 측정을 하였다.