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심종수 ( Jong-soo Sim ),박주호 ( Ju-ho Park ),성동윤 ( Dong-yoon Sung ),이장후 ( Jang Hoo Lee ),김효철 ( Hyo Chul Kim ),박승범 ( Sungbum Park ),배병성 ( Byung Seong Bae ) 한국정보처리학회 2023 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.30 No.2
반도체 공정은 주로 진공 중에서 이루어 지며 진공을 잘 유지하는 것이 매우 중요하고 여러 가지 종류의 펌프가 사용이 된다. 저진공펌프로 많이 사용되는 로타리 펌프에 대해서 진동 및 온도센서를 부착하고 펌프의 상태에 따른 진동의 변화 및 온도의 변화를 연구 하고 펌프의 예지 보전에 활용할 수 있도록 하였다.