http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
박막 형 가스 센서에 있어서 가스 감지 속도에 대한 막 두께의 영향
유도준,준 타마키,노리오 미우라,노보루 야마조에,박순자,Yu, Do-Joon,Jun Tamaki,Norio Miura,Noboru Yamazoe,Park, Soon-Ja 한국재료학회 1996 한국재료학회지 Vol.6 No.7
박막 형 가스 센서의 막 두께가 가스 감지 특성에 미치는 영향을 단순화된 모델로부터 수식으로 유도하여 해석하였고, 그것을 ${SnO}_{2}$와 CuO-${SnO}_{2}$ 박막의 ${H}_{2}S$ 감응 특성에 대한 실험 결과에 적용하였다. 유도된 수식으로부터 박막 가스 센서의 가스 감지 특성은 가스의 박막 안으로의 확산성에 크게 의존하며, 그 가스 확산성은 박막의 두께, 가스의 센서 재료의 반응성, 작동 온도 등에 의해서 결정됨을 알 수 있었다. 또한 이 수식은 CuO-${SnO}_{2}$ 박막의 ${H}_{2}S$ 감응 특성에 대한 실험 결과와 비교적 잘 일치하였고, CuO-${SnO}_{2}$ 박막과 ${SnO}_{2}$ 박막의 서로 판이한 ${H}_{2}S$ 감응 특성에 대한 설명에 적용되었다. 이로부터, 일반적인 산화물 반도체식 가스 센서의 가스 감지 특성이 가스 확산성에 의해서 어떻게 지배되는가를 구체적으로 제안하였다. Effect of Film thickness on the sensing behavior of thin-film-type ags sensor has been analyzed by deriving an equation form a simple model, and the equation was applied to the sensing behavior of ${SnO}_{2}$ and CuO-${SnO}_{2}$ thin-film sensors. It was revealed, from the equation,that the gas sensing property was closely related to gas diffusivity into the film which was a function of film thickness, reactivity of the gas detected with sensing material, operating temperature, etc. The equation derived was well consistent with the experimental results from ${SnO}_{2}$ and CuO-${SnO}_{2}$ thin-film sensors and explained their different ${H}_{2}S$ sensing behaviors. Finally, a medel was suggested, explainning the effect of gas diffusivity on sensing be havior of oxide semiconductor sensor.
온도-전기저항 특성 해석을 통한 CuO-$SnO_2$ 후막 소자의 $H_2S$ 감지기구 고찰
유도준,준타마키,박수잔,노보류야마조에 한국세라믹학회 1996 한국세라믹학회지 Vol.33 No.4
The H2S sensing mechanism of CuO-SnO2 was confirmed by analyzing the electrical-resistance variation with temperature under an H2S atmosphere. While the resistance of CuO-SnO2 thick film at N2+H2S atmosphere was almost invariant with change in temperature it increased with increasing temperature for air +H2S atmos-phere. This behavior was analyzed using an equation derived from a basic assumption based on the H2S sensing mechanism proposed before. the experimental results are sufficiently explained with the equation derived which showed that the H2S sensing mechanism was reasonable. The equation also gave a detailed analysis and physical meaning to the behavior of the resistance variation with change in H2S concentration.