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알칼리 수용액에서 현상이 가능한 네거티브 형태의 폴리이미드 공중합체의 합성과 광 형상화 연구
박효진(Hyo Jin Park),신해인(Hae In Shin),채다정(Da Jeong Chae),여지현(Ji Hyeon Yeo),권지은(Ji Eun Gwon),권준영(Jun Young Kwon),이승우(Seung Woo Lee) 한국고분자학회 2022 폴리머 Vol.46 No.6
광반응기로 메타아크릴로일 그룹인 hydroxyethyl methacrylate(HEMA)를 곁사슬로 가지며 알칼린 수용액에 현상이 가능한 네거티브 광감성 폴리(아믹 에스테르) 공중합체를 pyromellitic dianhydride(PMDA), 4,4’-oxydianiline(ODA)와 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane(Bis-APAF)를 기반으로 합성하였다. 합성된 광감성 폴리(아믹 에스테르) 공중합체는 열적 이미드화 방법에 의하여 폴리이미드로 전환되며, 높은 열안정성을 가짐을 확인하였다. 광감성 폴리(아믹 에스테르) 공중합체, 광개시제 및 가교제 등의 광감성 조성물의 광 형상화 연구에서 고분자 합성에 투입된 ODA와 Bis-APAF의 조성에 따라 자외선 노광에 따른 현상 속도 및 형상화에 차이를 보임을 확인하였다. 전자주사현미경을 이용하여 알칼리 수용액에서의 현상 및 열적 이미드화 후의 표면을 분석하였으며, 광감성 폴리(아믹 에스테르) 공중합체 합성 시 투입된 ODA와 Bis-APAF의 조성에 따른 특성을 분석하였다. Negative typed photo-sensitive poly(amic ester) copolymers having methacryloyl groups as a side chain were synthesized using pyromellitic dianhydride (PMDA), 4,4’-oxydianiline (ODA) and 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (Bis-APAF). The poly(amic ester) copolymers converted polyimides by thermal imidization process, and the polyimides have good thermal stability. The photo-lithographic properties of the formulation containing poly(amic ester) copolymers, photo-initiator, and cross-linker were investigated with the point of composition of feeding ratio of ODA and Bis-APAF in the synthesized poly(amic ester) copolymers.
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