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- 저자 : 정하창 (검색결과 3 건)
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Capping층 재료에 따른 CoFeB/MgO/CoFeB 자기터널접합의 미세구조와 자기저항 특성
정하창,이성래,Chung, Ha-Chang,Lee, Seong-Rae 한국자기학회 2007 韓國磁氣學會誌 Vol.17 No.4
본 연구에서는 CoFeB/MgO/CoFeB 구조를 가지는 자기터널접합에서 capping층 재료의 종류와 열처리 시간에 따른 비정질 top CoFeB 자성층의 결정화 상태 및 자기터널접합의 자기적 특성 변화에 대한 연구결과를 비교 분석 하였다. Hcp(Hexagonal close-packed)의 결정구조를 가지는 Ru(002)를 capping층 재료로 사용한 자기터널접합 박막의 경우에는 열처리 이후 Ru과 인접한 부분의 top CoFeB이 bcc-CoFe(110)로 성장하는 반면, TiAl과 ZrAl을 capping층 재료로 사용한 자기터널접합의 경우는 열처리 이후 top CoFeB이 MgO와 epitaxial하게 bcc-CoFe(002)로 결정성장 하였다. 이로 인해 Ru을 사용한 자기터널접합의 터널자기 저항비(46.7%)보다 약 1.5배 높은 터널자기저항비(TiAl: 71.8%, ZrAl: 72.7%)를 나타내었다. We investigated the effects of the capping layer materials on the crystallization of the amorphous top-CoFeB (t-CoFeB) electrode and the magnetoresistance properties of the magnetic tunnel junctions (MTJs). When the hcp(002)-textured Ru capping layer was used, the amorphous t-CoFeB was crystallized to bcc-CoFe(110). The CoFe(110)/Ru(002) texture relation can be minimized the lattice mismatch down to 5.6%. However, when the fine polycrystalline but almost amorphous TiAl or amorphous ZrAl were used, the amorphous t-CoFeB was crystallized to bcc-CoFe(002). When the amorphous capping materials were used, the evolution of the t-CoFeB texture was affected mainly by the MgO(001) texture. Consequently, the M ratios of the annealed MTJ capped with the ZrAl and TiAl (72.7 and 71.8%) are relatively higher than that of the MTJ with Ru capping layer (46.7%). In conclusions, the texture evolution of the amorphous t-CoFeB during the post deposition annealing could be controlled by the crystallinity of the adjacent capping layer and in turn, it affects the TMR ratio of MTJs.
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Ca 함량 및 Sr 치환량의 변화에 따른 Mg-Ca-Sr-Ti-O계 세라믹스의 마이크로파 특성
류현위,유완식,정하창,김배연,Ryu, Heon-Wi,You, Whan-Sik,Jung, Ha-Chang,Kim, Bae-Yeon 한국세라믹학회 2006 한국세라믹학회지 Vol.43 No.5
$MgTiO_3{\cdot}CaTiO_3{\cdot}SrTiO_3$ system ceramics (MCST) were synthesized to study the effect of Ca addition amount and Sr substitution on temperature coefficient of resonance sequency. Temperature coefficient of resonance frequency was slightly increased by small amount ($i.e.{\sim}5%$) of Sr substitution. In case of 50% to 75% addition amount of $MgTiO_3$, decrease of quality factor was not observed with increasing dielectric constant.
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Ca 함량 및 Sr 치환량의 변화에 따른 Mg-Ca-Sr-Ti-O계 세라믹스의 마이크로파 특성
류헌위,김배연,유완식,정하창 한국세라믹학회 2006 한국세라믹학회지 Vol.43 No.5
MgTiO3CaTiO3SrTiO3 system ceramics(MCST) were synthesized to study the effect of Ca addition amount and Sr substitution on temperature coefficient of resonance frequency. Temperature coefficient of resonance frequency was slightly increased by small amount(i.e. ~5%) of Sr substitution. In case of 50% to 75% addition amount of MgTiO3, decrease of Quality factor was not observed with increasing dielectric constant. MgTiO3CaTiO3SrTiO3계 세라믹스(이하 MCST계)를 합성 소결하여 MCT계 마이크로파 유전체에서 CaTiO3 함량과 Sr의 치환 효과가 유전체 공진주파수의 온도계수에 미치는 특성에 대하여 연구하였다. CaTiO3에 대한 SrTiO3의 치환량이 5%까지 증가하면 유전율이 약간 증가할 수 있으나, 5%이상으로 증가할 경우 공진주파수의 온도계수가 증가하였다. 다만, MgTiO3의 함량이 50%~75%일 경우 유전율의 증가에 따른 품질계수의 저하는 관찰되지 않아 SrTiO3는 MCST계 마이크로파 유전체의 유전특성 향상에 기여한다고 할 수 있을 것이다.
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