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RF Magnetron Sputter를 이용한 TiO2 박막 제조 연구
임지천 ( J. C. Lim ),송규정 ( K. J. Song ) 전북대학교 과학교육연구소 2011 과학과 과학교육 논문지 Vol.36 No.-
RF magnetron reactive sputter 방법으로 p-type Si-wafer (100) 기판에 고순도(반경 3 inch) Ti target을이용하여 TiO2 박막들을 제조하였다. Target과 기판간의 거리는 6 cm로 고정하고, 기판온도(Ts)는 100∼500℃, 증착시간은 0.5∼1.5시간, 그리고 RF power는 100∼250W 범위 내에서 조절하여 TiO2 박막을 성장하였다. 각 조건별로 증착한 박막의 결정성을 XRD를 통해 분석하였으며, 표면 이미지와 증착 두께들은 SEM을 통해 분석하였다. RF Magnetron Reactive Sputter 방법을 이용한 TiO2 박막성장 이외에, 차별화된 방법으로 먼저 Ti 박막 층을 먼저 성장 시킨 후, O2 분위기에서 열처리 과정을 통한 TiO2 박막 성장을 시도 하였으며, 이들 두 방법들에 대한 결과들을 비교 분석하였다.을 분석하였다. TiO2 thin films were deposited on p-type Si-wafer (100) substrates, from pure Ti target with a diameter of 3 inches, employing by a conventional RF magnetron reactive sputter system. For the fixed target-to-substrate distance (6cm), films were deposited with several deposition conditions. Substrate temperature(Ts) was varied from 100 to 500℃. The sputtering was performed at RF powers in the range of 100∼250W for the deposition time of 0.5∼1.5 hours. The crystalline structure of the film was observed by XRD patterns for all films deposited with unique parameters. Both the surface image and the thickness of films were investigated by SEM. In addition, TiO2 thin films were grown by an another way which is two-step process. After depositing Ti thin layer on the substrate, it was annealed at several temperatures, with flowing a mixed gas(Ar+O2). The comparative study of both results for TiO2 thin films, which were grown by RF magnetron reactive sputter and two-step process, was carried out.
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과학영재교육원 고등사사 과정에서 수행된 연필심과 종이의 미시적 관찰 연구
박지원 ( J. W. Park ),원도윤 ( D. Y. Won ),임지천 ( J. C. Lim ) 전북대학교 과학교육연구소 2011 과학과 과학교육 논문지 Vol.36 No.-
일상생활에서 접할 수 있는 연필심 및 종이 같은 평범한 물체들을 주 연구 대상으로 선정하였다. 이들 선정된 물체들에 대한 미세구조 관찰은 한국기초과학지원연구원(KBSI) 전주분소에 설치되어 있는 전자현미경(SEM) 장비로 수행되었다. 연필심의 경우는 종류에 따라 연필심의 미세구조에서 특별히 차이나는 것은 없었으나, 정성적인 EDS 분석을 통하여 연필심의 특성에 따라 구성 성분의 하나인 점토 성분들의 함량에서 차이를 확인할 수 있었으며, 또한 다양한 종이들에 대한 미세 표면구조들의 비교 분석을 통하여 한지가 다른 종류의 종이들에 비하여 흡수성과 통기성이 좋음을 확인할 수 있었다. We chose both lead in pencils and papers as research objects from ordinary materials in the surroundings of our everyday life. The microscopic observation of the objects was performed by employing a SEM (with EDS) at KBSI. The difference between micro structures for lead in pencils is not big. We, however, confirm some differences in contents of the components of clay through the qualitative EDS analyses. In addition, Hanji is shown better properties, for both water absorption and ventilation, than other papers, through the comparative study of micro structures for various papers.
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