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CMOS 표준 공정을 통한 SPM 프로브의 제작 및 그 성능 평가
이훈택 ( Hoontaek Lee ),김준수 ( Junsoo Kim ),신금재 ( Kumjae Shin ),문원규 ( Wonkyu Moon ) 한국센서학회 2021 센서학회지 Vol.30 No.4
In this paper, we report the fabrication of the tip-on-gate of a field-effect-transistor (ToGoFET) probe using a standard complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process and the performance evaluation of the fabricated probe. After the CMOS process, I-V characteristic measurement was performed on the reference MOSFET. We confirmed that the ToGoFET probe could be operated at a gate voltage of 0 V due to channel ion implantation. The transconductance at the operating point (Vg = 0 V, Vd = 2 V) was 360 μA/ V. After the fabrication process was completed, calibration was performed using a pure metal sample. For sensitivity calibration, the relationship between the input voltage of the sample and the output current of the probe was determined and the result was consistent with the measurement result of the reference MOSFET. An oxide sample measurement was performed as an example of an application of the new ToGoFET probe. According to the measurement, the ToGoFET probe could spatially resolve a hundred nanometers with a height of a few nanometers in both the topographic image and the ToGoFET image.
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수액류 측정 데이터베이스: 그래니어(Granier) 센서 열손실탐침법(Heat Dissipation Method)과 열파동법(Heat Pulse Method)을 이용한 수액류 측정
이민수 ( Minsu Lee ),박주한 ( Juhan Park ),조성식 ( Sungsik Cho ),문민규 ( Minkyu Moon ),류다운 ( Daun Ryu ),이훈택 ( Hoontaek Lee ),이호진 ( Hojin Lee ),김수경 ( Sookyung Kim ),김태경 ( Taekyung Kim ),변시연 ( Siyeon Byeon ),전지현 한국농림기상학회 2020 한국농림기상학회지 Vol.22 No.4
증산은 물이 기공을 통해 대기 중으로 이동하는 과정으로, 지표면의 물은 상당부분 증산을 통해 대기 중으로 이동한다. 에디공분산, 수분 수지 측정법 등의 증산량을 측정하는 방법이 있지만, 수종 및 임분의 구성 요소별 증산량의 차이를 비교하기 위해서는 개체목 증산량 측정이 필요하다. 개체목 증산량을 측정하기 위해 수액의 온도차를 이용한 수액류 측정법을 가장 널리 이용하고 있지만, 넓은 범위의 지역을 장기간 조사하기에 한계가 있다. 따라서 큰 공간적 규모에 대해 수액류 및 증산량에 대한 연구를 하기 위해서는 각 지역별로 측정한 데이터의 공유가 필요하다. 본 연구팀은 태화산 학술림에서 열손실탐침법을 이용하여 2011년부터 잣나무(Pinus koraiensis) 18본, 2013년부터 갈참나무(Quercus aliena) 16본을 대상으로 수액류를 측정하고 있으며, 광릉수목원에서도 열손실탐침법을 이용하여, 2013년부터 전나무(Abies holophylla) 18본, 졸참나무(Quercus serrata) 7본, 서어나무(Carpinus laxiflora) 3본, 까치박달(Carpinus cordata) 3본을 대상으로 수액류를 측정하고 있다. 구례 지리산 조사지에서는 열 파동법으로 2018년부터 산벚나무(Prunus sargentii), 낙엽송(Larix kaempferii), 2019년에는 추가로 상수리나무(Quercus accutisima), 소나무(Pinus densiflora), 물푸레나무(Fraxinus rhynchophylla)를 대상으로 수액류를 측정하였으며, 2020년에는 편백(Chamecypans obtuse), 잣나무(P. koraiensis), 자작나무(Betulla platyphylla), 전나무(A. holophylla), 곰솔(Pinus thrunbergii)을 대상으로 수액류를 측정하고 있다. 우리나라 산림의 수액류 데이터를 더욱 활발하게 공유하여 국내 산림생태계에서 개체목과 임분의 수액류와 증산의 환경민감성 등 다양한 연구에 기여할 것으로 기대한다. Transpiration is the movement of water into the atmosphere through leaf stomata of plant, and it accounts for more than half of evapotranspiration from the land surface. The measurements of transpiration could be conducted in various ways including eddy covariance and water balance method etc. However, the transpiration measurements of individual trees are necessary to quantify and compare the water use of each species and individual component within stands. For the measurement of the transpiration by individual tree, the thermometric methods such as heat dissipation and heat pulse methods are widely used. However, it is difficult and labor consuming to maintain the transpiration measurements of individual trees in a wide range area and especially for long-term experiment. Therefore, the sharing of sapflow data through database should be useful to promote the studies on transpiration and water balance for large spatial scale. In this paper, we present sap flow database, which have Granier type sap flux data from 18 Korean pine (Pinus koraiensis) since 2011 and 16 (Quercus aliena) since 2013 in Mt.Taehwa Seoul National University forest and 18 needle fir (Abies holophylla), seven (Quercus serrata), three (Carpinus laxiflora and C. cordata each since 2013 in Gwangneung. In addition, the database includes the sapling transpiration of nine species (Prunus sargentii, Larix kaempferii, Quercus accutisima, Pinus densiflora, Fraxinus rhynchophylla, Chamecypans obtuse, P. koraiensis, Betulla platyphylla, A. holophylla, Pinus thunbergii), which were measured using heat pulse method since 2018. We believe this is the first database to share the sapflux data in Rep. of Korea, and we wish our database to be used by other researchers and contribute a variety of researches in this field.
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