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DC 플라즈마를 이용한 SF6, HFCs 분해 및 고정화 연구
김태욱(Tae-Wook Kim),이규항(Kyu-Hang Lee),진예진(Ye-Jin Jin),조계영(Gye-Yeong Jo),이수민(Soo-Min Lee),손병구(Byung-Koo Son) 한국신재생에너지학회 2021 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 Vol.2021 No.7
반도체 제조공정, 중전기기의 냉매에 사용되고 있는 SF6, HFCs 가스는 GWP(Global Warming Potentials)가 높은 온실효과 기여도가 큰 물질이다. 대기 중 체류시간이 길고 매우 안정적인 두 물질을 분해하기 위해서는 높은 에너지를 필요로 한다. DC 플라즈마 토치는 플라즈마 제트의 온도가 약 6,000℃로써 고온환경을 빠르게 구현할 수 있으며, 가동 시 온실가스를 배출하지 않아 친환경적이다. 본 연구에서는 시멘트 소성로를 모사한 반응기에서 DC 플라즈마를 열원으로 활용하여 SF<SUB>6</SUB>, HFCs 가스 분해를 진행하였으며, 분해 후 생석회와 화학반응을 통하여 시멘트 공정에서 유용한 물질인 광화제(CaF<SUB>2</SUB>) 및 지연제(CaSO4)로의 고정화 여부를 확인하였다.