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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : 성시진 ( Shi Jin Sung ) (검색결과 1 건)
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        Diazonaphthoquinone을 적용한 감광성 폴리이미드의 특성에 관한 연구

        성시진 ( Shi Jin Sung ),이명훈 ( Myong Hoon Lee ) 한국화상학회 2011 한국화상학회지 Vol.17 No.2

        유기용매에 용해성이 우수한 폴리이미드 수지를 합성하여 photoactive compound(PAC)와 혼합하여 감광성 폴리이미드 조성물을 제조하였다. 그리고 폴리이미드와 PAC의 구조가 여러 물성에 미치는 영향을 조사하였다. 이를 위하여 카르복실산과 불소를 함유하는 diamine을 기반으로 다양한 모노머를 사용하여 폴리이미드 수지를 합성하였다. 먼저 감광성재료로써 기본적으로 가져야할 특성을 가지기 위하여, 카르복실 기의 함량에 따른 i-line 파장의 흡광도, 현상액에 대한 용해도 차이, 유기용매에 대한 용해도를 확인하였다. 상기 3 가지의 물성을 확인하여 감광재료로 사용하기 위한 기본적인 카르복실 기의 함량을 결정하였다. 이후에 PAC과 혼합하여 7 ㎛ 이상의 막 두께에서 미세 패턴 구현이 가능한 최적의 폴리이미드 조성비를 확정하였다. 그리고 1,200 msec 이하의 감도로 미세패턴을 형성하기 위하여 다양한 PAC을 첨가하여 그 영향을 조사하였다. 최적의 시료에 대한 필름의 수축율 및 열팽창 계수를 측정한 결과 각각 18 %와 69.32 ppm/℃의 우수한 감광성 폴리이미드 조성물을 제조할 수 있음을 확인하였다. We synthesized a new polyimide having good solubility in organic solvent, and mixed it with photoactive compounds (PAC) to propare a photosensitive polyimide composition in organic solvent. The influence of polyimide structure and PAC on the various physical properties was investigated. Firstly, we synthesized a new polyimide using various monomers such as diamines containing carboxylic acid and fluorine. We measured a transmittance at i-line wavelength, dissolution rate in the developer (2.38% TMAH) and solubility in organic solvents with respect to the carboxylic acid content of the resulting polyimides to obtain an optimum carboxylic acid content when a film of 7 ㎛ thickness was prepared from a mixed solution of the polyimide base resin and PAC. We also investigated the effect of PAC compositions on the micro pattern formation at the sensitivity below 1,200 msec. The rate of shrinkage of a film and heat expansion coefficient were also measured for the optimum formulation, and the results were 18 % and 69.32 ppm/℃, respectively, from which it was confirmed that the resulting photosensitive polyimide compositions have excellent properties.

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