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박재현(J. H. Park),백지홍(J. H. Baek),안일균(I. K. An),김기현(K. H. Kim) Korean Society for Precision Engineering 2021 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.11월
반도체/디스플레이 산업은 공정상의 회로와 소자의 고집적도로 인해 높은 정밀도의 장비를 요구하고 공정 후 검사를 위해서 공정상의 정밀도보다 더 높은 측정 정밀도를 요구하고 있다. 공정 및 검사 장비의 높은 정밀도를 구현하기 위해서는 장비의 주변 환경 제어가 필수적이며 진동 환경조건이 매우 엄격하다. 제진 시스템은 반도체 및 디스플레이 장비에서 장비의 진동 및 주변 환경의 진동과 같은 외란의 영향을 최소화하기 위한 시스템이다. 본 연구에서는 제진 시스템에 적용하기 위한 패시브 모듈을 제안하였다. 패시브 모듈은 탄성체로 구성되어 고주파수 대역의 진동을 제진하기 위한 제진 시스템의 핵심 요소이다. 코일스프링으로만 구성된 기존의 패시브 모듈은 설치 후 하중을 받을 때 수평방향으로 변형이 발생하여 패시브 모듈 성능 저하의 원인이 된다. 제안하는 패시브 모듈은 판스프링과 코일스프링으로 구성되어 있다. 이중 구조의 판스프링으로 인해 코일스프링이 수직방향으로만 구동할 수 있어, 코일스프링의 수평방향 변형 및 성능저하를 방지할 수 있다. 이중 구조의 판스프링과 코일스프링을 병렬로 연결하여 패시브 모듈을 설계하고 구조해석을 통해 성능을 확인하였다. 제안하는 패시브 모듈을 제진 시스템에 적용하여 제진 성능 향상 및 제진 시스템 내구성 향상이 가능할 것으로 기대된다.
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