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계단형 텅스텐 결정면의 질소 흡착에 관한 연구 : Ⅱ. W(210) 및 W(310)면
최대선(D. S. Choi),한종훈(J. H. Han),백선목(S. M. Paik),박노길(N. G. Park),김욕욱(Y. W. Kim),황정남(C. N. Whang) 한국진공학회(ASCT) 1996 Applied Science and Convergence Technology Vol.5 No.4
장전자 방출법으로 텡스텐 (210)면 및 (310)면(100)면의 질소 흡착에 의한 일함수의 변화에 heat of desorption을 측정하였으며 Thermal Desortion Spectra(TDS) 결과로부터 adsorption site를 예측하였다. 텅스텐 (210)면 및 (310)면에 에 질소가 흡착될 때 흡착율에 따라 일함수는 증가하다가 각 면에 대하여 흡착율 5 Langmuir일때 최대 변화량 0.29 eV및 0.20 eV에서 포화되었다. TDS 결과는 이 면들은 낮은 dose의 영역에서 각각 3개의 흡착 site가 있음을 보였으며 이 흡착 site들 중 α₁state의 spectrum의 강도는 (210)면에서 보다 (310)면에서 상대적으로 강해짐을 보였다. 또한 (210)와 (310)면의 α₁ 과 β₂ state의 흡착 site에 흡착된 질소의 dipole moment의 방향은 이 흡착 site들에 대응되는 (100)면의 α₁ 과 β₂state의 흡착 site에 흡착된 질소의 dipole moment의 방향과 반대 방향으로 측정되었으며 이 현상으로부터 질소의 상대적인 흡착 위치를 예측하였다. The heat of desorption and the work function change induced by nitrogen adsorption on the stepped tungstein surface planes, W(210) and W(310), are measured using the Field Electron Emission Microscope(FEM). The adsoption sites are predicted from the Thermal Desortion Spectra(TDS). The work function change of both W(210) and W(310) planes increase as increasing the nitrogen dose and saturates at the nitrogen dose about 5 Langmuir to 0.29 eV and 0.20 ev respectively. We find three adsorption site on each plane for the low dose range. The TDS result shows that the intensity of α₁, state on W(310) is much stronger than that of α₁ state on W(210), and the direction of nitrogen dipole moment adsorbed on the sites correspond to α₁, and β₂ states on W(210) and W(310) planes are in the opposite direction to that of the equivalent states on W(100) plane. From this observation we can predict the relative atomic position in the zdirection (perpendicular direction to the surface) of nitrogen molecules/atoms adsorbed on these sites.
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