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기체분자의 MAC를 이용한 압력 게이지의 제작 및 특성 평가 연구
권명회(Myeung Hoi Kwon) 한국진공학회(ASCT) 1994 Applied Science and Convergence Technology Vol.3 No.4
본 연구에서는 LRDC 트랜스듀서를 장착한 변형된 회전 진자를 제작하여, 1×10^(-2) Torr에서 1×10^(-5) Torr 사이의 Ar 압력을 측정하였다. 비구동 회전 진자의 진폭은 가체 분자와의 충돌에 의한 감쇄가 일어난다. 회전 진자의 감쇄에 의한 특성 함수를 측정하여, 본 연구팀은 일반적인 진공 측정 장비로는 측정이 어려운 1×10^(-2) Torr에서 1×10^(-5) Torr 사이의 Ar 압력을 정확하게 측정할 수 있었다. In this study, we measure the Ar pressure between 1×10^(-2) Torr and 1×10^(-5) Torr using modified torsion balance with LRDC transducer. The motion of the undriven torsion pendulum is one in which the amplitude of oscillation decreases with time because of dissipation by the collisions of gas molecules. By measuring the damping constant(log decrement), we have been able to measure the pressure of the system fairly accurately, even in pressure ranges of difficulty for many common manometers.