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      • KCI등재

        X-ray CMOS 영상 센서의 대조 해상도 향상을 위해 Micro-inductor를 적용한 새로운 Sample-and-Hold 회로

        이대희(DAE HEE LEE),조규성(Gyuseong Cho),강동욱(Dong-Uk Kang),김명수(Myung Soo KIM),조민식(Minsik Cho),유현준(Hyunjun YOO),김예원(Yewon KIM) 大韓電子工學會 2012 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.49 No.4

        X-ray용 CMOS 영상 센서의 대조 해상도는 신호처리부 첫 단의 sample-and-hold 회로에서 단일 MOS 스위치를 사용하거나 이를 개선한 bootstrapped clock circuit을 스위치로 사용할 경우에도 높은 신호에서 제한되는 문제를 가지고 있다. Bootstrapped clock circuit을 이용하는 sample-and-hold 회로가 charge injection 현상으로 인해 sample 신호의 왜곡을 일으키기 때문이다. 본 논문에서는 계산을 통해 필요로 하는 범위의 L(Inductor)값 구현을 위해 표준 CMOS 공정에서 구현 가능한 micro-inductor를 3차원 구조로 설계하였고, 이를 이용하여 센서의 대조 해상도 혹은 ENOB(Effective number of bit)값이 향상된 sample-and-hold 회로를 제안하였다. 0.35 ㎛ CMOS 공정에서 BCC를 이용해 설계된 sample-and-hold 회로에 최적화된 L 값을 갖는 micro-inductor를 추가하여 ENOB가 17.64 bit에서 18.34 bit로 약 0.7 bit의 해상도 상승을 시뮬레이션으로 검증하였다. 제안된 micro-inductor 방법은 고해상도를 필요로 하는 mammography의 경우 환자가 받는 방사선량을 줄이는 효과가 있을 것으로 기대한다. A image quality is limited by a sample-and-hold circuit of the X-ray CMOS image sensor even though simple mos switch or bootstrapped clock circuit are used to get high quality sampled signal. Because distortion of sampled signal is produced by the charge injection from sample-and-hold circuit even using bootstrapped. This paper presents the 3D micro-inductor design methode in the CMOS process. Using this methode, it is possible to increase the ENOB (effective number of bit) through the use of micro-inductor which is calculated and designed in standard CMOS process in this paper. The ENOB is improved 0.7 bit from 17.64 bit to 18.34 bit without any circuit just by optimized inductor value resulting in verified simulation result. Because of this feature, micro-inductor methode suggested in this paper is able to adapt a mamography that is needed high resolution so that it help to decrease patients dose amount.

      • 마이크로파 근접장 현미경을 이용한 λ-DNA의 비파괴 측정

        유현준,유형근,양종일,김송희,이기진 한국비파괴검사학회 2004 학술대회 논문집 Vol.- No.-

        We study the electrical properties of lambda DNA(λ-DNA) by using a near-field scanning microwave microscope (NSMM) at an operating frequency of f = 5 2 - 5.7 GHz. Distance between the probe tip and the sample was maintained the same distance in order to obtain a quantitative result using a tuning fork shear-force feedback system. The obtained NSMM images showed a topography with a dielectric constant image of h-DNA. We observed dielectric constant changes of λ-DNA due to a change by UV irradiation.

      • 수중에서 비파괴 topography 관측

        김송희,유현준,양종일,송두희,이기진 한국비파괴검사학회 2004 학술대회 논문집 Vol.- No.-

        We observed topography under water using a tuning fork system which can be controled a tip-sample distance to apply the near-field scanning microwave microscope (NSMM) for a bio-sample. We obtained topographical images of a water drop and a metallic sample under water in order to inquire an efficiency of tuning fork system.

      • KCI등재

        비파괴 측정을 위한 근접장 마이크로파 현미경 연구

        김주영,김송희,유현준,양종일,유형근,유경선,김승완,이기진 한국비파괴검사학회 2004 한국비파괴검사학회지 Vol.24 No.5

        근접장의 특성과 근접장 마이크로파 현미경의 배경이론을 설명하였고 유전체 공진기 제작에 앞서 HFSS (high frequency structure simulator)를 이용한 모의 시뮬레이션을 기술하였다. 이것을 바탕으로 원통형 유전체 공진기를 제작하여 금속탐침과 결합한 근접장 마이크로파 현미경(near field scanning microwave microscope : NSMM)을 구성하였다. 제작한 유전체 공진기의 특성은 HFSS를 이용하여 모의 실험한 결과와 비교하였다. Tip의 기하학적 모양에 따른 공간분해능과 감도(sensitivity)를 연구하였고 contrast가 가장 좋은 hybrid tip을 개발하였다. 전도도가 서로 다른 금속시료에 따른 NSMM의 반사계수의 변화를 측정하였고 실험결과와 이론적 시료의 임피던스를 비교하였다. 마지막으로 유전체 공진기를 이용한 NSMM으로 공간 분해능이 1μm의 Cr과 NiFe 패턴의 이미지를 비접촉, 비파괴방법으로 얻었다. We described a near-field scanning microwave microscope which uses a high-quality dielectric resonator with a tunable screw. The operating frequency is f = 4.5 5 GHz. The probe tip is mounted in a cylindrical resonant cavity coupled to a dielectric resonator. We developed a hybrid tip combining a reduced length of the tapered part with a small apex. In order to understand the function of the probe, we fabricated three different tips using a conventional chemical etching techique and observed three different NSMM images for patterened Cr films on glass substrates. We measured the reflection coefficient of different metal thin film samples with the same thickness of 300 nm and compared with theoretical impedance respectly. By tuning the tunable screw coming through the top cover, we could improve sensitivity, signal-to-noise ratio, and spatial resolution to better than 1μm. To demonstrate the ability of local microwave characterization, the surface resistance of metallic thin films has been mapped.

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