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Vacuum Gauge Calibration System in Pohang Accelerator Laboratory
김형종(H. J. Kim),조복래(B. L. Cho),이해철(H. C. Lee),박종도(C. D. Park),최우천(W. C. Choi) 한국진공학회(ASCT) 1994 Applied Science and Convergence Technology Vol.3 No.4
포항가속기연구소에서 사용될 진공게이지 교정시스템이 설계 제작되었다. 이 교정시스템은 동적 교정 방법으로 설계 되었으며, transfer standard 로서 spinning rotor gauge를 사용하였다. 포항가속기의 저장링에 사용될 모든 진공게이지는 이 교정시스템으로 교정을 하여 사용할 것이며, 주로 교정할 게이지로는 Bayard-Alpert (BA) nude ionization gauge와 cold cathode gauge 등이 있다. 본 논문에서는 포항가속기의 진공게이지 교정시스템에 대해서 소개를 하였고, 현재까지 BA nude ionization gauge 6대, extractor gauge 1대, high pressure gauge 1대와 cold cathode gauge 5대를 10^(-4) 에서 10^(-4) Torr 범위내에서 교정하여 그 결과를 보였다. The vacuum gauge calibration system has been designed and established in Pohang Accelerator Laboratory (PAL). This system is characterized by a dynamic expansion method with a spinning rotor gauge as a transfer standard. This calibration system is used extensively for calibrating Bayard-Alpert (BA) nude ionization gauges as well as cold cathode gauges used in the storage ring vacuum system of Pohang Light Source (PLS). The pressure range for the calibration is between 10^(-4) and 10^(-9) Torr. This study covers design details and some of calibration results for several types of gauges: six BA nude ionization gauges, one extractor gauge, one high pressure gauge, and five cold cathode gauges.