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- 저자 : 설용태(Yong-Tae Sul) (검색결과 16 건)
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설용태(Sul Yong-Tae) 한국산학기술학회 2016 한국산학기술학회논문지 Vol.17 No.4
친환경에너지에 대한 요구가 높아지면서 전기에너지의 사용은 계속 증가하고 있다. 최근 친환경, 에너지 절약을 위해서 유도가열을 이용한 여러 가지 가열방식에 대한 관심이 높아지고 있다. 본 논문에서는 전자유도현상을 이용한 유도가 열방식을 이용하여 보다 친환경적이고 에너지 절약이 가능한 전기온풍기를 설게 제작하였다. 온풍기는 송풍부, 유도가열부 및 전력변환부 등 3부분으로 구성하였다. 유도가열부는 송풍부에 결합되어 송풍부로부터 발생된 바람이 가열되어 분출되며, 전력변환부는 고주파를 인가하여 자속을 발생시킴으로써 유도가열부의 내부를 가열시킨다. 발열방식은 유도가열의 원리를 적용하고, 전력변환효율성을 높이기 위해 공진형 인버터를 사용하였다. 공진형 인버터는 풀브리지 전압형 직렬부하 공진형 인버터를 사용하였다. 유도가열부는 세라믹 계열의 절연체와 SUS40계열의 금속체를 사용했으며, 전력변환부는 정류부, 필터 부 및 공진형 인버터부 등으로 구성 하였다. 본 연구에서 제안한 전기온풍기는 기존의 전기히터와 가스히터 등과 비교한 결과, 온도 상승속도가 빠르고, 사용에너지 비용이 절감되는 등 경제성도 있음을 보였다. 개발된 전기온풍기는 가정용, 상업 용 및 농업용 등 여러 분야에 친환경 에너지절감형 온풍기로의 적용 가능성이 있다. As the Eco-energy is recently required, electrical energy is fast increased. Several induction heating methods are attractive for Eco-energy and energy saving. In this paper, electrical fan heater was designed and developed with new concept for energy saving by electromagnetic induction heating. Proposed system was composed of three module, blast part, induction heating part and power transformation part. Induction heating method was adapted for heating and the resonant inverter was used for increasing of the power transformation efficiency. Full-bridge resonant inverter was adopted to resonant inverter. This system was composed of induction heating part made with metal(SUS 40 series), and power transformation part made with rectifier module, filter module and resonant inverter. From these results, the proposed new electric heater could be saved the energy from faster increasing the temperature compared to commercial gas and other electric heater. This electrical fan heater is possible to be used in field of home, commercial and agricultural area for eco-energy saving heater.
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설용태(Sul Yong-Tae),이의용(Lee Eui-Yong),권혁민(Kwon, Hyuk-Min) 한국산학기술학회 2008 한국산학기술학회논문지 Vol.9 No.2
본 논문에서는 반도체 소자와 디스플레이 패널의 제조공정에 사용되는 플라즈마 식각장비의 RF 정합특성을 개선하기 위한 모듈을 제안하였다. 구동부의 기구 중 베벨기어를 웹기어로 새롭게 설계 제작하고 제어부도 원칩 마이크로 프로세서를 이용하여 재구성하였다. 개발된 모듈은 기존의 정합장치보다 다양한 공정변수에 대한 능동적인 대처가 가능하고, 모터의 흐름현상 등을 개선함으로서 RF 정합특성이 개선되어, 플라즈마 식각공정의 생산성을 향상 시킬 수 있음을 보였다. New RF matcher module has been proposed in this paper for improvement of RF matcher in plasma etcher system using in semiconductor and display panel manufacturing process. New designed warm gear was used instead of bevel gear in new driving module, and control system was re-arranged with one-chip micro-process technique. The matching performance of new match module was improved in various process condition with reduction of backlash and matching time, and flexible motion of motor compared commercial match module. However this new type RF match module will improve the productivity in etching process of the mass production line.
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새로운 열교환 방식을 이용한 유도가열 과열증기 발생장치 개발
설용태(Sul Yong-Tae),이의용(Lee Eui-Yong),권혁민(Kwon, Hyuk-Min) 한국산학기술학회 2009 한국산학기술학회논문지 Vol.10 No.4
본 논문에서는 공진형 유도가열기를 이용한 2단 직렬 부하형 유도가열 과열증기 발생장치를 제안하였다. 발열방식은 외부의 가열코일로부터 특수 합금 발열체에 비접촉 상태로 전자유도 와전류를 구조체에 흐르게 하였다. 인버터는 풀-브라지 고주파 직렬 부하 공진형이며, LC 공진 설계에서 부하자체를 인덕터로 선정하여 효율을 최대화 하였다. 개발된 장치는 전자유도가열 발열체와 유체이동에 의한 새로운 열교환 방식으로 일체의 연소과정 없이 기체, 액체 및 증발체 등을 상온에서 고온에 이르기까지 고정도의 가열이 가능하다. Two step serial load induction superheater has been proposed using resonance type induction heat method in this paper. Heat method is a type of flowing the electron induction and current to special alloy heater in body from extemal heat coil with non-contact method. Inverter was a full bridge serial load resonance type and inductor was used as load in LC resonance design to maximize the efficiency. The developed system is a new heat exchanging method combined with electromagnetic induction heater and fluid movement, and very accurate to control of heating the gas, liquid and evaporated mass, so on without combustion process.
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반도체 제조장비용 챔버 가스누출 방지를 위한 제어모듈 개발
설용태(Sul Yong-Tae),박성진(Park Sung-Jin),이의용(Lee Eui-Yong) 한국산학기술학회 2005 한국산학기술학회논문지 Vol.6 No.5
본 논문에서는 반도체 제조장비의 챔버 내부 가스누출을 방지하기위한 보완모듈을 제시하였다. MFC(mass flow controller) 다음단의 최종밸브와 챔버 사이의 가스관에 압력센서를 부착시켜, 압력센서의 신호와 최종밸브의 동작신호를 디지털 회로를 이용하여 실시간으로 감지하고 가스누출을 방지하도록 하였다. LED 모듈을 이용하여 공정 중에 발생하는 2차 소성물로 인한 가스의 흐름과 관련된 시스템 고장을 표시한다. 본 연구에서 개발한 모듈을 이용하면 챔버 내에서의 가스누출로 인한 장비의 손상과 안전사고 등을 예방하는 효과가 있다. In this paper the gas leakage controller in processing chamber for semiconductor manufacturing is proposed. A .pressure sensor is connected between the final valve and the numeric valve. A pressure sensor signal and a numeric valve signal are controlled by a proposed digital circuit module. Gas leakage condition, producing by 2nd plasticity in semiconductor process, display at LED. The proposed controller module is useful for monitoring the gas flow for preventing the critical process gas leakage.
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플라즈마 스프레이 방법으로 코팅 된 $Al_2O_3$막의 구조적 특성
김좌연,유재근,설용태,Kim, Jwa-Yeon,Yu, Jae-Keun,Sul, Yong-Tae 한국결정성장학회 2006 韓國結晶成長學會誌 Vol.16 No.3
반도체 드라이 에처 시스템의 웨이퍼 정전기 척에 적용하기 위해 플라즈마 스프레이 방법으로 Al-60 계열 기판에 코팅한 $Al_2O_3$ 코팅 막의 특성을 조사하였다. 시편 뒷면에 냉각봉이 장착되었을 때와 없을 때, 용사거리와 분말공급량을 변형하면서 $Al_2O_3$ 막 코팅을 하여 시편을 제작 하였다. 시편 뒷면에 냉각봉이 없을 때는 크랙과 기공이 많이 발생하였다. 시편 뒷면에 냉각봉을 장착하고 분말공급량을 15g/min로 한 경우에 용사거리 60, 70, 80mm에 따른 $Al_2O_3$ 코팅에서는 크랙과 기공은 거의 찾아볼 수 없었다. 용사거리 변화에 따른 $Al_2O_3$ 막 코팅의 표면형태 변화는 없었다. 같은 공정조건에서 분말 공급량을 20g/min로 한 경우에도 크랙은 볼 수 없었으나 약간의 기공이 생겼고, 분말공급량을15g/min로 하였을 때 보다 작은 입자들이 많이 증착되었다. 시편 뒷면에 냉각봉이 없을 때가 시편 뒷면에 냉각봉이 장착된 경우에 비하여 증착 속도가 빨랐다. We have investigated plasma spray coated $Al_2O_3$ layers on Al-60 series substrates for development of wafer electrostatic chuck in semiconductor dry etching system. Samples were prepared without/with cooling bar on backside of samples, at various distances, and with different powder feed rates. There were many cracks and pores in the $Al_2O_3$ layers coated on Al-60 series substrates without cooling bar on the backside of samples. But the cracks and pores were almost disappeared in the $Al_2O_3$ layers on Al-60 series substrates coated with cooling bar on the back side of samples, 15 g/min. powder feed rate and various 60, 70, 80 mm working distances. Then the surface morphology was not changed with various working distances of 60, 70, 80 mm. When the powder feed rate was changed from 15 g/min to 20 g/min, the crack did not appear, but few pores appeared. Also the $Al_2O_3$ layer was coated with many small splats compared with $Al_2O_3$ layer coated with 15 g/min powder feed rate. The deposited rate of $Al_2O_3$ layer was higher when the process was done without cooling bar on the back side of sample than that with cooling bar on the back side of sample.
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이배희(Bae-Hee Lee),설용태(Yong-Tae Sul) 한국조명·전기설비학회 1999 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 Vol.1999 No.-
In this paper the approximated analysis method of industrial distribution system using PTW(Power Tools for Windows). System input data, cable impedance and transformer data etc., were calculated by the approximated method using EMTP(Electro Magnetic Transient Program). The effectiveness of this method was improved by electrical characteristics analysis of real factory.
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