Survey of optical characterization methods for materials, processing, and manufacturing in the semiconductor industry : W. Murray Bullis, S. Perkowitz, D.G. Seiler [microform]|RISS 상세보기

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예시)

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저자

Bullis, W. Murray ; Perkowitz, Sidney ; Seiler, David G ; National Institute of Standards and Technology (미국)
발행사항
Gaithersburg, MD : U.S. Dept. of Commerce, Technology Administration, National Institute of Standards and Technology, 1995
발행연도
1995
작성언어
영어
주제어

Semiconductors ; Semiconductors ; Semiconductor industry
자료형태
단행본(마이크로자료)
발행국(도시)
Maryland
서명/저자사항
Survey of optical characterization methods for materials, processing, and manufacturing in the semiconductor industry [microform] / W. Murray Bullis, S. Perkowitz, D.G. Seiler
형태사항
iv, 51 p. : ill. ; 28 cm.
총서사항
NIST special publication ; 400-98 Semiconductor measurement technology
일반주기명
Distributed to depository libraries in microfiche.
Shipping list no.: 97-0518-M.
Paper version no longer available for sale by the Supt. of Docs.
"December 1995."
Includes bibliographical references.
소장기관
- 국립중앙도서관