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      시스템 인식 기법을 이용한 나노 구동 장치의 전달 특성 추정 = Estimating Transfer characteristic of Nano-Translation Device using System Identification

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      https://www.riss.kr/link?id=T10323869

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract) kakao i 다국어 번역

      This thesis is concerned with identifying transfer functions of the nano translation device. The main objective of this thesis is to obtain correct transfer functions of this system by using identification tools in MATLAB.
      In many cases, the systems are so complex and huge that it is impossible to obtain correct models using only physical laws. These problems can be solved by system identification experimental method.
      In this thesis, transfer functions of the system is derived by using State-Space, ARX and ARMAX model structure based on input/output data. It is very difficult to design controller, because these order of transfer functions is high degree. So order of transfer function is decreased using model reduction. The best model structure is selected by fit rate, correlation function and the smallest order.
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      This thesis is concerned with identifying transfer functions of the nano translation device. The main objective of this thesis is to obtain correct transfer functions of this system by using identification tools in MATLAB. In many cases, the systems ...

      This thesis is concerned with identifying transfer functions of the nano translation device. The main objective of this thesis is to obtain correct transfer functions of this system by using identification tools in MATLAB.
      In many cases, the systems are so complex and huge that it is impossible to obtain correct models using only physical laws. These problems can be solved by system identification experimental method.
      In this thesis, transfer functions of the system is derived by using State-Space, ARX and ARMAX model structure based on input/output data. It is very difficult to design controller, because these order of transfer functions is high degree. So order of transfer function is decreased using model reduction. The best model structure is selected by fit rate, correlation function and the smallest order.

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      목차 (Table of Contents)

      • 그림목차 = III
      • 1.서론 = 1
      • 2.시스템 식별
      • 그림목차 = III
      • 1.서론 = 1
      • 2.시스템 식별
      • 2.1개요 = 4
      • 2.2Least-Squares Estimation = 7
      • 2.3시스템 식별 모델 구조 = 7
      • 2.4시스템 식별 절차 = 9
      • 2.4.1실험 설계 = 9
      • 2.4.2자료 선처리 = 13
      • 2.4.3모델 구조의 선택 = 13
      • 2.4.4식별 방법의 선택 = 14
      • 2.4.5모델 계산 = 15
      • 2.4.6모델 검증 = 15
      • 3.나노 구동 시스템의 개요
      • 3.1나노 스테이지의 구성 = 18
      • 3.1.1압전체(PZT, Piezoelectric) = 18
      • 3.1.2Flexure Hinge = 20
      • 3.1.3정전 용량 센서 = 21
      • 3.2전체적인 시스템구성 = 22
      • 4.실험 및 결과
      • 4.1개요 = 25
      • 4.2실험 설계 = 26
      • 4.3시스템 식별과 모델 축소 = 30
      • 4.3.1State-Space 모델 구조에 대한 식별 = 32
      • 4.3.2ARX 모델 구조에 대한 식별 = 34
      • 4.3.3ARMAX 모델 구조에 대한 식별 = 36
      • 4.4각 모델 구조 검증 및 분석 = 38
      • 5.결론 = 44
      • 참고문헌 = 46
      • 부록A:프로그램 = 48
      • ABSTRACT = 49
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