금속 용액 흡착을 이용한 금속 유도 결정화 및 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에의 응용 연구 = Metal induced crystallization of amorphous silicon using metal solution and its application to thin film transistors

목차 (Table of Contents)

• 목 차
• 제 1 장 서 론 = 1
• 제 2 장 이 론 = 6
• 2.1 다결정 실리콘의 전기적 특성 = 6
• 2.2 금속 유도 결정화 = 12
• 2.3 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성 = 15
• 제 3 장 금속 용액으로 제작된 다결정 실리콘의 구조적, 전기적 특성 = 25
• 제 4 장 실리사이드를 이용한 n채널 박막 트랜지스터 제작 = 31
• 4.1 개 요 = 31
• 4.2. 실 험 방 법 = 31
• 4.3 금속 용액을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작 = 35
• 4.4 결과 및 논의 = 40
• 제 5 장 2-마스크 공정의 n채널 박막 트랜지스터 제작 = 44
• 5.1 개 요 = 44
• 5.2 실험 방법 및 제작 = 44
• 5.3 결과 및 논의 = 48
• 제 6 장 결 론 = 61
• REFERENCES = 62
• ABSTRACT