이온 보조 증착에 의해 제작된 MgF_2-TiO_2 혼합 박막의 광학적, 구조적 특성 분석 = Characterizations of Optical Properties and Microstructures of Composite MgF_2-TiO_2 Films Fabricated by Ion Assisted Deposition

국문 초록 (Abstract)

MgF₂와 TiO₂를 각각 다른 두 증발원으로부터 동시에 증착시켜 혼합 박막을 제작하였다. 박막의 특성을 개선시키기 위해 이온 보조 증착(IAD)을 하였다. 제작된 MgF₂-TiO₂혼합 박막의 원소 조성비, 광학적 특성과 결정 구조를 분석하였다. 상대적 증착률을 달리하여 제작된 MgF₂-TiO₂혼합 박막의 Mg:Ti의 조성비는 비선형적으로 변화하였으며 MgF₂의 조성비를 상대적으로 증가시킴에 따라 혼합 박막의 굴절률은 감소하였고 Drude 모델을 잘 만족함을 알 수 있었다. 그리고 MgF₂의 조성비가 증가할수록 비정질의 TiO₂구조 사이에 다결정질인 MgF₂의 양이 증가하여 결정성을 갖는 박막으로 성장함을 확인하였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

The composite MgF₂-TiO₂films are fabricated by codepositon from two independent sources. To improve optical and mechanical properties of films, the films are prepared by ion-assisted deposition. The chemical compositions, optical properties and microstructures of the composite films were investigated. The chemical composition rates of Ti:Mg of MgF₂-TiO₂composite films are nonlinearly varied according to relative deposition rate. It is found that the refractive indices of the composite films decrease with increasing MgF₂contents and can be fitted quite well by Drude's formula and the microstructures of the composite films are changed from an amorphous to crystalline with increasing MgF₂mole fractions.

목차 (Table of Contents)

• 1. 서론
• 2. 박막 시료 제작
• 3. 박막의 특성 분석
• 4. 결과 및 논의
• 5. 결론
• 참고문헌