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    Fabrication of Bimetallic Cantilevers and Its Characterization

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    Most SPM sensors utilize a current-imaging technique or force-imaging techniques that allow imaging nanoscale topography of the surface using a nanoscale tip on cantilever. In this work, the various cantilevers were microfabricated with a SiO_(2) thin film or a Si_(3)N_(4) thin film. Thermal imaging technique using microfabricated Si_(3)N_(4) cantilevers has been investigated. The temperature change and heat flow across the fabricated bimetallic cantilever will create angular bending of the bimetallic metal-coated lever. Its thermal response was qualitatively examined during an endothermic chemical reaction using optical deflection methods. The chemical used in this experiment is the tetradecanol CH_(3)(CH_(2))13OH, with a known theoretical phase transition temperature of ∼ 313 K.
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    Most SPM sensors utilize a current-imaging technique or force-imaging techniques that allow imaging nanoscale topography of the surface using a nanoscale tip on cantilever. In this work, the various cantilevers were microfabricated with a SiO_(2) thin...

    Most SPM sensors utilize a current-imaging technique or force-imaging techniques that allow imaging nanoscale topography of the surface using a nanoscale tip on cantilever. In this work, the various cantilevers were microfabricated with a SiO_(2) thin film or a Si_(3)N_(4) thin film. Thermal imaging technique using microfabricated Si_(3)N_(4) cantilevers has been investigated. The temperature change and heat flow across the fabricated bimetallic cantilever will create angular bending of the bimetallic metal-coated lever. Its thermal response was qualitatively examined during an endothermic chemical reaction using optical deflection methods. The chemical used in this experiment is the tetradecanol CH_(3)(CH_(2))13OH, with a known theoretical phase transition temperature of ∼ 313 K.

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    목차 (Table of Contents)

    • 1. Introduction
    • 2. Experimental Procedure
    • 3. Results and Discussion
    • Acknowledgments
    • References
    • 1. Introduction
    • 2. Experimental Procedure
    • 3. Results and Discussion
    • Acknowledgments
    • References
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